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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品概述
在多晶硅生產(chǎn)過程中，還原爐尾氣過濾器如何選型始終是一個(gè)難點(diǎn)，如過濾器及過濾面積選擇不當(dāng)，將會(huì)導(dǎo)致過濾器堵死或硅粉過濾不，影響下游工藝設(shè)備，從而嚴(yán)重影響系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。由于多晶硅行業(yè)尾氣粉塵具有顆粒細(xì)小、溫度高、硬度高、有耐磨性等特點(diǎn)，目前使用效果較好的是本體采用316L材料、濾芯采用316L金屬燒結(jié)氈制成的過濾器。此過濾器可設(shè)置成手動(dòng)反吹或自動(dòng)反吹。
應(yīng)用領(lǐng)域
♦ 硅粉輸送工序尾氣過濾。
♦ 三氯氫硅合成工序合成氣過濾。
♦ 三氯氫硅還原工序尾氣過濾。
♦ 四氯化硅氫化工序尾氣過濾。
♦ 焚燒尾氣過濾。
♦ 其它。
產(chǎn)品列表
| 1、氣體精密過濾器 | 2、天燃?xì)饩苓^濾器 |
| 3、液體精密過濾器 | 4、袋式過濾器 |
| 5、多晶硅過濾器 | 6、保安過濾器 |
| 7、精密過濾器濾芯 |
硅粉輸送工序尾氣過濾系統(tǒng)
過濾器：硅粉過濾器、硅塵過濾器等工藝介質(zhì)：硅粉輸送（加料）系統(tǒng)產(chǎn)生的含塵廢氣
| 工藝參數(shù) | 氣 相：氫氣、氮?dú)饣蚱渌?9.9%；固相：冶金硅粉0.1%（重量） 顆粒粒度：40~100目 |
| 設(shè)計(jì)性能 | 過濾效果：固體去除率99.9% 清灰設(shè)計(jì)：在線分區(qū)脈沖反吹（低壓系統(tǒng)） 離線分區(qū)脈沖反吹（高壓系統(tǒng)） |
三氯氫硅合成工序合成氣過濾系統(tǒng)
過濾器：合成反應(yīng)器出口旋風(fēng)分離器和硅粉過濾器工藝介質(zhì)：三氯氫硅合成反應(yīng)器出口混合氣體
| 工藝參數(shù) | 氣 相：（wt%）H2（1.6%），HCl（3.3%），SiH2Cl2（3.5%） SiCl4（13.6%），SiHCl3（77.8%） 固 相：Si 粉（0.3%,max:1%） 工作溫度：～200℃；工作壓力：0.6Mpa 過濾精度：10µm |
| 設(shè)計(jì)性能 | 過濾效果：固體去除率99.9% 濾 芯：316L，10µm 清灰設(shè)計(jì)：有備用，離線反吹或在線分區(qū)反吹；反吹氣：氫氣 |
三氯氫硅還原工序尾氣過濾系統(tǒng)
過濾器：還原爐尾氣過濾器工藝介質(zhì)：三氯氫硅還原工序尾氣
| 工藝參數(shù) | 氣 相：(mol%）H2（78.96%），HCl（0.64%）， SiH2Cl2（1.82%）,SiCl4（7.16%），SiHCl3（11.4%） 固 相：無定型 Si 粉 工作溫度：～200 ℃；工作壓力：～0.6Mpa 過濾精度：1µm |
| 設(shè)計(jì)性能 | 過濾效果：固體去除率99.9% 濾 芯：316L，1µm 清灰設(shè)計(jì)：有備用，離線反吹或在線分區(qū)反吹；反吹氣：氫氣 |
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)圖
產(chǎn)品性能參數(shù)
| 殼體材質(zhì) | 20#、低溫鋼、不銹鋼、雙相鋼、鈦合金、內(nèi)襯PO、內(nèi)襯四氟、2205等各種特殊材質(zhì) |
| 過濾器壓力 | 0.6Mpa、1.0Mpa、1.6Mpa、2.0Mpa、3.2Mpa、4.0Mpa、6.4Mpa，至25.0Mpa |
| 溫度范圍 | -280℃~+2000℃ |
| 接管口徑 | DN15~DN1500mm |
| 連接方式 | 法蘭連接、快裝連接、螺紋連接、對(duì)焊連接 |
| 濾芯材質(zhì) | 不銹鋼、聚丙烯、PP棉、聚四氟乙燃、鈦合金、陶瓷等各種濾芯 |
| 過濾精度 | 0.001um~500um |
| 濾芯長(zhǎng)度 | 250mm、500mm、750mm、1000mm或客戶長(zhǎng)度 |
| 進(jìn)出口方位 | 上進(jìn)下出、上進(jìn)側(cè)出、左進(jìn)右出、下進(jìn)上出等各種型式 |
| 過濾器可選配件 | 壓差計(jì)、變送器、安全閥、電動(dòng)（氣動(dòng)）排污閥、放空閥、液位計(jì) |
| 墊片 | 聚四氟乙烯墊片、橡膠墊片、金屬內(nèi)外環(huán)墊片、金屬石墨墊片或客戶 |
| 過濾器外面處理 | 采用內(nèi)外拋光處理，達(dá)到衛(wèi)生級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，也可噴砂處理。 |
| 上海慶工建議客戶，我們的工程師會(huì)免費(fèi)根據(jù)貴公司的工況及參數(shù)選擇的過濾器 |
產(chǎn)品實(shí)物圖
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訂貨須知
訂貨時(shí)請(qǐng)標(biāo)注如下參數(shù)：型號(hào)、口徑、材質(zhì)、壓力、法蘭標(biāo)準(zhǔn)、過濾精度、數(shù)量，如客戶對(duì)產(chǎn)品有特殊要求，請(qǐng)?jiān)谠儍r(jià)時(shí)一并提出。
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