半導(dǎo)體精密充氮高溫試驗箱

一、 設(shè)備名稱：精密充氮高溫試驗箱

型號：LS-RUL-60CN

二、技術(shù)指標及驗收標準

1.性能（為空載時,其室溫在25℃）

1.1 溫度范圍：RT+10~200℃

1.2 溫度控制穩(wěn)定度：±0.5℃

1.3 分布均度：±1%(按GB標準測試9點溫度)

1.4 升溫時間：由常溫升至200℃約需40分鐘

1.5 內(nèi)部尺寸：W60*H60*D60cm

1.6 外部尺寸: W110*H97*D83

1.7 氮氣調(diào)節(jié)范圍：0~30L/min

1.8 設(shè)備表面溫度≤室溫+15℃

1.9電源：三相380V 50Hz，加熱器功率3 KW 風機功率550W

1.10驗收以具有相關(guān)資質(zhì)的第三方檢測機構(gòu)出具的檢測報告為準

三.詳細配置:

1 內(nèi)箱材質(zhì): 不銹鋼板(SUS #304光面1.2mm厚),不銹鋼全周焊.

2外箱材質(zhì): 特殊鋼板 + 粉體烤漆(1.2mm厚)

3 保溫材質(zhì): 高密度之玻璃纖維棉

4 排氣孔 : 4"排氣孔(位置設(shè)備左側(cè))

5 加 熱 器:

a.采用SUS316不銹鋼加熱器.

b.*獨立系統(tǒng),不影響控制線路.

c.溫度控制輸出功率均經(jīng)由微電腦演算,以達高精度與高效率之用電效益.

6 送風循環(huán)系統(tǒng):

a.采用風扇馬達不銹鋼加長軸心 + 耐高低溫之不銹鋼風葉式結(jié)構(gòu)循環(huán)風扇,以達強制對流水平擴散循環(huán).

b.入排風口手調(diào)控制閥.

7 箱門:單片門，左開，把手在右手邊

a.平面嵌入式把手

b.鉸鏈:SUS #304

8 溫度控制器: 中國臺灣CAHO

a.溫度傳感器采用 DIN PT-100Ω (白金感應(yīng))控制器分辨率為：0. 1℃

b.溫度控制均采用 P.I.D.＋ S.S.R.系統(tǒng)同步協(xié)調(diào)控制，可提高控制組件與界面使用之穩(wěn)定性及壽命。

c.按鍵式設(shè)定、數(shù)字直接顯示

d.具有 P.I.D.自動演算之功能，可減少人為設(shè)定時所帶來之不便

e.自動超溫保護功能

f.停電記憶裝置5年

g.定時功能 1min~999H

9 控制面板:

a.照光式壓扣開關(guān)二只

b.超溫保護開關(guān)一只

c.通電指示燈

d.定時器一組

e.故障指示燈一只

10.氣氛控制系統(tǒng)：

a) N₂入氣手動閥

b) N₂入氣調(diào)壓閥

c) N₂入氣浮子流量計(100L/min)

d) N₂入氣電磁閥

e) 入氣調(diào)和配管系統(tǒng)

11 安全保護裝置:

a.超溫保護開關(guān)1組

b.動力保險絲一只

c.控制回路保險絲二只

d.循環(huán)馬達過載保護

c.無熔絲開關(guān)

12.其他附屬配件:

12.1測溫傳感器: T Type 1支

12.2 試料置放架:

a.柵欄式置物架2片

b.可調(diào)整間距50mm置物架軌道2組

c.迫緊：耐高溫之高張性硅膠發(fā)泡迫緊