詳細介紹 益處復合真空計 – 倒置磁控管與皮拉尼測量范圍廣,從 5 x 10-9 毫巴到大氣壓不會出現(xiàn)單絲燒毀的現(xiàn)象的點火屬性易于清潔FPM 或金屬密封饋入裝置高壓 LED 指示燈對數(shù)模擬輸出信號典型應(yīng)用高真空壓力監(jiān)控蒸發(fā)系統(tǒng)和濺射系統(tǒng)的基本壓力中高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制規(guī)格 類型 MPG400 FPM sealed MPG401 metal-sealed 測量范圍(空氣,N2) 5 x 10-9 … 1000 5 x 10-9 … 1000 精度 (N2) 1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±30% ≈±30% 可重復性 1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±5% ≈±5% 安裝定位 any any 容許壓力 bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases) ≤10 (limited to inert gases) 容許溫度 運行(環(huán)境) °C +5 … +55 +5 … +55 貯存 °C –40 … +65 –40 … +65 烘烤 (1) °C 150 150 單絲溫度(皮拉尼) °C 120 120 電源電壓 真空計上 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 纜線更長的電源裝置 (2) V (dc) +16 … +30 +16 … +30 波紋 V (p-p) ≤1 ≤1 功耗 W ≤2 ≤2 可連接的保險絲 AT ≤1 ≤1 輸出信號(測量信號) 電壓范圍 V 0 … +10.5 0 … +10.5 測量范圍 V +1.82 … +8.6 +1.82 … +8.6 電壓與壓強 logarithmic, 0.6 volts per decade logarithmic, 0.6 volts per decade 錯誤信號 無電源 V <0.5 <0.5 皮拉尼傳感器,單絲斷裂 V >9.5 >9.5 輸出電阻 Ω 2 x 10 2 x 10 更小負載電阻 kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 反應(yīng)時間 p > 10-6 毫巴 ms <10 <10 p = 10-8 毫巴 ms ≈1000 ≈1000 識別真空計 85, referenced to supply common 85, referenced to supply common 狀態(tài) 僅皮拉尼模式 V 0 (low) 0 (low) 復合皮拉尼 / 冷陰極模式 V 15 … 30 (high) 15 … 30 (high) LED LED green high voltage on high voltage on 電氣連接 FCC 68 appliance connector, 8 poles, female FCC 68 appliance connector, 8 poles, female 傳感器電纜 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 電纜長度 m ≤50 (8 x 0.14 mm2) ≤50 (8 x 0.14 mm2) 運行電壓 kV ≤3.3 ≤3.3 運行電流 μA ≤500 ≤500 暴露于真空的材料 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W 內(nèi)部容積 cm3 ≈20 ≈20 重量 DN 25 ISO-KF g ≈700 ≈730 DN 40 ISO-KF g ≈720 ≈750 DN 40 CF-F g ≈980 ≈1010 保護類別 IP 40 IP 40 標準 CE 合規(guī) EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 1) 沒有電子和磁遮蔽。 2) 必須根據(jù)傳感器電纜的長度按比例增加電源的**低電壓。
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