Transpector® MPH 殘余氣體分析儀

持續(xù)上升的硅晶圓價(jià)格以及對(duì)成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出的代價(jià)。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)**的性能，有助于很大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時(shí)間長的優(yōu)點(diǎn)，在幫助您贏利方面的作用優(yōu)于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON 利用在氣體分析過程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長制造的 RGA 具有行業(yè)**的數(shù)據(jù)采集速度，可檢分壓強(qiáng)和信噪比更低。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。