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詳細(xì)介紹
概述
使用嶄新的技術(shù)，提供高速度與精確度，建立出可靠以及可信賴的測量系統(tǒng)。
該系統(tǒng)包括InSpec測量軟件，可程式化的光學(xué)變焦，3X的數(shù)碼變焦，非線性平臺補(bǔ)償，非線性光學(xué)補(bǔ)償，*的LED光源系統(tǒng)以及溫度檢測儀。
InSpec測量軟件功能強(qiáng)大：使用鼠標(biāo)就能輕松編寫程序，專有的系統(tǒng)尋邊功能，*的光源控制及校正功能，與復(fù)合傳感器結(jié)合，自動校正，可清晰顯示測量資料及公差。
規(guī)格表
| 型號 | 測量行程(mm) | XY軸精度(μm) | Z軸精度(μm) | 分辨率 | 承載重量 | 外觀尺寸(mm) |
| Vertex 261 | 250x160x160 | 2.0+L/250 | 2.0+L/200 | 0.1 μm | 10 kg | 755x1130x1075 |
| Vertex 341 | 315x315x160 | 2.6+L/175 | 3.0+L/150 | 0.1 μm | 20 kg | 900x1410x1065 |
| Vertex 342 | 315x315x250 | 2.6+L/175 | 3.0+L/100 | 0.1 μm | 20 kg | 900x1410x1245 |
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