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詳細(xì)介紹
概述
使用嶄新的技術(shù)，提供高速度與精確度，建立出可靠以及可信賴的測(cè)量系統(tǒng)。
該系統(tǒng)包括InSpec測(cè)量軟件，可程式化的光學(xué)變焦，3X的數(shù)碼變焦，非線性平臺(tái)補(bǔ)償，非線性光學(xué)補(bǔ)償，*的LED光源系統(tǒng)以及溫度檢測(cè)儀。
InSpec測(cè)量軟件功能強(qiáng)大：使用鼠標(biāo)就能輕松編寫(xiě)程序，專有的系統(tǒng)尋邊功能，*的光源控制及校正功能，與復(fù)合傳感器結(jié)合，自動(dòng)校正，可清晰顯示測(cè)量資料及公差。
規(guī)格表
| 型號(hào) | 測(cè)量行程(mm) | XY軸精度(μm) | Z軸精度(μm) | 分辨率 | 承載重量 | 外觀尺寸(mm) |
| Excel 511 | 420x520x160 | 2.5+L/200 | 2.5+L/100 | 0.05 μm | 100 kg | 1295x1221x1629 |
| Excel 512 | 420x520x250 | 2.8+L/175 | 3.0+L/100 | 0.05 μm | 100 kg | 1295x1221x1803 |
| Excel 701 | 660x700x160 | 2.5+L/200 | 2.5+L/100 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x1647 |
| Excel 702 | 660x700x250 | 2.8+L/200 | 3.0+L/100 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x1819 |
| Excel 704 | 660x700x400 | 3.5+L/150 | 3.8+L/100 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x2119 |
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