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詳細(xì)介紹
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| AQS系列全自動(dòng)清洗甩干機(jī)是根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和市需求而研發(fā)的全自動(dòng)清洗甩干設(shè) 備，具有高潔凈度旋轉(zhuǎn)清洗甩干功能。主要用于硅圓片、太陽(yáng)能電池等類似材料的清洗甩干。是光伏、半導(dǎo) 體濕法清洗工藝中的主要設(shè)備之一。 AQS系列機(jī)型針對(duì)不同用戶、不同工藝要求、不同應(yīng)用場(chǎng)合開(kāi)發(fā)了系列化機(jī)型。用戶可按自已的要求和不 同工藝選擇適合自已的機(jī)型型號(hào)和功能配置要求。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 系統(tǒng)構(gòu)成 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 整機(jī)采用4、6或8工位式組合結(jié)構(gòu)，適用于103mm，125mm， 156mm三種規(guī)格的硅片，實(shí)現(xiàn)包括旋轉(zhuǎn)清 洗甩干、氮?dú)夂娓?、腔體干燥、工作完成自動(dòng)開(kāi)門、工況顯示和故障報(bào)警在內(nèi)的全自動(dòng)工藝處理過(guò)程。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 結(jié)構(gòu)與特點(diǎn) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 外觀新穎、簡(jiǎn)潔、流暢。主要部件采用不能磁化的不銹鋼材料。 工作過(guò)程中，清洗工作腔與外界密封隔離。 工作腔、旋轉(zhuǎn)支架及載片架均采用耐腐蝕不銹鋼，表面經(jīng)特殊嚴(yán)電化學(xué)處理； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)精密的動(dòng)、靜平衡校驗(yàn)，保證系統(tǒng)工作時(shí)的平衡性、減少振源的產(chǎn)生。 精密的動(dòng)、靜平衡保證使得放硅片盒夾具與甩干機(jī)的位置無(wú)需一一對(duì)應(yīng)，操作方便。 采用寬頻率的特種阻尼器，精密減震及阻尼。使系統(tǒng)具有良好的減震效果。 采用驅(qū)動(dòng)電機(jī)，進(jìn)口變頻器，提速平穩(wěn)；采用磁力平衡制動(dòng)，速度快，制動(dòng)平均時(shí)間小于20秒。 特制噴頭和氣液流體控制系統(tǒng)，全自動(dòng)切換控制。 管道、閥門、接頭采用304不銹鋼、聚四氟材料和高純管件。 采用氣缸實(shí)現(xiàn)自動(dòng)開(kāi)門手動(dòng)關(guān)門，平穩(wěn)安全可靠。 工作中采用防靜電控制。 頂蓋采用硅橡膠加熱板輔助加熱系統(tǒng)，保證頂蓋烘干后干燥不滴水。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 控制系統(tǒng) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 采用PLC可編程控制器及保色觸摸顯示屏.程序控制智能化。 程序設(shè)計(jì)可靠。速度調(diào)節(jié)，溫度調(diào)節(jié)，時(shí)間調(diào)節(jié)等每道程序指令用戶都可以在觸摸屏上任意設(shè)定、修改、保存。 運(yùn)行過(guò)程、內(nèi)容、信息（包括故障信息）在工作過(guò)程中均在觸摸顯示屏漢顯，操作人員對(duì)設(shè)備的工藝步驟、運(yùn)行狀態(tài)一目了然。 采用電子變頻調(diào)速技術(shù)無(wú)級(jí)調(diào)速，速度提升變換穩(wěn)定。 系統(tǒng)軟件具有故障實(shí)時(shí)顯示及報(bào)警功能。 所有電控元器件均采用國(guó)際國(guó)內(nèi)品牌。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 安全與保障 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 采取了水、氣過(guò)程狀態(tài)監(jiān)控、門位置狀態(tài)監(jiān)控與互鎖、氮?dú)饧訜釡囟葘?shí)時(shí)監(jiān)控、緊急停止開(kāi)關(guān)等相關(guān)措施； 采用微處理器檢測(cè)實(shí)時(shí)工作狀態(tài)。具有關(guān)門故障報(bào)警、超溫報(bào)警、驅(qū)動(dòng)電機(jī)過(guò)載報(bào)警、低油位報(bào)警、制動(dòng)故障報(bào)警、多種傳感器故障報(bào)警等； 具有整機(jī)漏電保護(hù)裝置和接地端子。
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