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掃描電鏡等離子清洗機(jī)

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更新時(shí)間：2021-09-30 13:40:01瀏覽次數(shù)：284

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CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計(jì)，并可自動(dòng)切換，一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑?。主要參?shù)：CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計(jì)，并可自動(dòng)切換，一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主......

詳細(xì)介紹

圖片5.jpg


產(chǎn)品特點(diǎn)

v 雙等離子清洗源

v 一機(jī)多用

v 高效低損傷

 

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)

CIF-SEM

法蘭接口

KF40

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz射頻電源，射頻功率5-100W可調(diào)，自動(dòng)匹配器

氣體控制

標(biāo)配雙路50毫升/分氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），精確測(cè)量自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據(jù)需求可選擇氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源

真空控制

美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計(jì)，測(cè)量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計(jì)和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面

電源/功率

220V，50/60Hz，300W

可選配件

可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min 

質(zhì)量保證

二年質(zhì)保，終身維護(hù)


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