詳細(xì)介紹
真空熱壓鍵合平臺(tái)機(jī)專業(yè)用于硬質(zhì)鍵,微信封鍵,后不封,平整度高,性能穩(wěn)定,透光性強(qiáng),用于PMMA 、PC 、COC等硬質(zhì)塑料芯片封合,硬質(zhì)塑料微流控芯片加工專用設(shè)備.真空熱壓機(jī)加熱面積100*100mm,可封合芯片厚度100mm,額定溫度:200℃;壓力范圍:0~3kN(300kg),廠家培訓(xùn),專業(yè)用于PMMA,鍵合后不影響平整度,廠家提供操作培訓(xùn)
真空熱壓鍵合機(jī)
一:真空熱壓鍵合機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)
1, 使用恒溫控制加熱技術(shù),溫度控制精確;
2,鋁合金工作平臺(tái),上下面平整,熱導(dǎo)速度快,熱導(dǎo)均一;
3, 加熱面積大,涵蓋常用大小芯片;
4,采用進(jìn)口元?dú)饧半娮优浼?,設(shè)備穩(wěn)定,*。
真空熱壓機(jī)真空門結(jié)構(gòu)
5,采進(jìn)口數(shù)顯壓力表,顯示直觀、質(zhì)量穩(wěn)定、經(jīng)久耐用
6,水冷降溫,降溫速率均一,有利于提高鍵合效果;
7,采用進(jìn)口精密調(diào)壓閥壓力穩(wěn)定可調(diào),針對(duì)不同的材料選用不同的壓力控制;
8,*的真空熱壓系統(tǒng),在保證芯片不損壞的情況下大幅度提高鍵合,
9,適用于PMMA、PC、COC等硬質(zhì)塑料芯片的鍵合。
真空熱壓機(jī)面板功能開關(guān)
二:ET-1010真空熱壓鍵合機(jī)技術(shù)參數(shù)
真空熱壓鍵合設(shè)備基本參數(shù):
1.上加熱板尺寸:100mmX100mm
2.下加熱板尺寸:100X100mm
3.加熱臺(tái)溫度:室溫-350度
4.氣缸出力:1000KG(桌面臺(tái)式)
5.壓缸開口行程:0-100mm(可鍵合芯片厚度)
6.安裝有真空表,便于檢測(cè)真空度
7.空壓機(jī)系統(tǒng)壓力:操作壓力0.5-0.8Mpa
真空熱壓機(jī)主機(jī)
8.電氣控制:PLC控制一體機(jī),下壓時(shí)間,保壓時(shí)可調(diào):0-9999.9秒
9.真空度:-0.05Mpa(做好抽氣接頭,真空泵不含)
10.溫度顯示:溫控器數(shù)字顯示調(diào)節(jié),
11.氣氛保護(hù)加氣接口
12.額定電壓:AC220V/50HZ;
13.額定功率:1000W(MAX)
14外形尺寸:420×260×610(長(zhǎng)×寬×高)mm;
2、重量:95kg;
真空鍵合機(jī)
真空熱壓機(jī)結(jié)構(gòu)特征圖解
真空熱壓機(jī)結(jié)構(gòu)特征圖解 | ||
1:下加熱板 | 2:導(dǎo)向機(jī)構(gòu) | 3:上加熱板 |
4:上板溫度控制器 | 5:真空壓力表 | 6:下壓氣缸 |
7:下板溫度控制器 | 8:門拉手 | 9:氣缸下壓按鈕 |
真空+氮?dú)?水冷系統(tǒng)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)圖解 | |
10:氮?dú)饨涌?/p> | 12:玻璃觀察窗 |
11:水冷機(jī)接口 | 13:抽真空接 |
注:以上圖案以實(shí)物為準(zhǔn),如有變動(dòng)恕不另行通知。
三:真空熱壓鍵合機(jī)設(shè)備操作指南
設(shè)備操作應(yīng)嚴(yán)格按照以下步驟進(jìn)行
(1) 檢查真空熱壓鍵合機(jī),真空泵和空氣壓縮機(jī)的電源線連接是否正確,檢
查各部分的氣路管線連接是否正確,關(guān)閉系統(tǒng)每個(gè)部分的閥門和開關(guān)。
(2) 將需要鍵合的芯片放在工作平臺(tái)(或相應(yīng)治具)中間位置,調(diào)整氣缸運(yùn)
行的行程,關(guān)閉艙門,打開真空泵,抽掉熱壓機(jī)內(nèi)部的空氣。
(3) 把氣缸控制開關(guān)按下,確定芯片上受壓的壓力。
(4) 溫度設(shè)定:調(diào)節(jié)上、下板調(diào)溫旋鈕到所需的溫度。
真空熱壓機(jī)溫度設(shè)定
(5) 將上、下板溫度控制的開關(guān)按下,開始對(duì)芯片進(jìn)行加熱鍵合。
(6) 熱壓鍵合結(jié)束,關(guān)閉上、下板溫控開關(guān),使加熱板處于停止工作狀態(tài)。
(7) 待溫度自然冷卻至工藝參數(shù)后,放入空氣,使內(nèi)外壓強(qiáng)平衡
(8) 打開艙門,氣動(dòng)風(fēng)冷模式,加快冷卻速度
(9) 待溫度降至50 度以下后,按起氣缸按鈕,氣缸抬起,完成鍵合
真空熱壓鍵合機(jī)設(shè)備外形尺寸
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