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MX61A金相顯微鏡

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更新時(shí)間:2021-10-06 10:29:21瀏覽次數(shù):295

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MX61A是一款專門(mén)設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體顯微鏡,可使操作人員以正確的人體工程學(xué)姿勢(shì)進(jìn)行操作,有利于操作人員在長(zhǎng)時(shí)間的工作中順利進(jìn)行檢測(cè),保證了工作的效率和產(chǎn)品一體化

詳細(xì)介紹

MX61A是一款專門(mén)設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體顯微鏡,可使操作人員以正確的人體工程學(xué)姿勢(shì)進(jìn)行操作,有利于操作人員在長(zhǎng)時(shí)間的工作中順利進(jìn)行檢測(cè),保證了工作的效率和產(chǎn)品一體化。

始終提供觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)       


強(qiáng)大的缺陷檢查能力       

采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)(UIS2),特別增強(qiáng)了明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)的性能,從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力。明視場(chǎng)圖像的色溫化,實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn),暗視場(chǎng)圖像的亮度約提高了四倍(與本公司原有產(chǎn)品比較)。       

觀察影像實(shí)例
明視場(chǎng)觀察
明視場(chǎng)觀察
新暗視場(chǎng)觀察
新暗視場(chǎng)觀察
傳統(tǒng)的暗視場(chǎng)觀察
傳統(tǒng)的暗視場(chǎng)觀察


自動(dòng)調(diào)節(jié)亮度       

亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖
亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖
物鏡選擇和觀察方法切換連動(dòng),自動(dòng)地調(diào)節(jié)亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。                   


對(duì)應(yīng)各種設(shè)備的實(shí)時(shí)AF       

深紫外線觀察用物鏡
深紫外線觀察用物鏡
MX61A裝載了在對(duì)焦精度、對(duì)焦速度上性能*的動(dòng)態(tài)AF。新開(kāi)發(fā)的多點(diǎn)方式的傳感器的采用,大幅度的提高了對(duì)焦時(shí)的穩(wěn)定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中,實(shí)現(xiàn)了追蹤觀察位置的實(shí)時(shí)對(duì)焦。                   


對(duì)應(yīng)多種觀察方法       

物鏡UIS2系列產(chǎn)品
物鏡UIS2系列產(chǎn)品
在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品,與各種觀察單元組合,可以在一臺(tái)顯微鏡上進(jìn)行明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。                        
觀察方法的切換非常簡(jiǎn)單,只要從明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、選件鏡子單元三個(gè)位置選擇就可以。                       
觀察影像實(shí)例
明視場(chǎng)觀察
明視場(chǎng)觀察
暗視場(chǎng)觀察
暗視場(chǎng)觀察
微分干涉觀察
微分干涉觀察
熒光觀察
熒光觀察
近紅外線觀察(左)和可見(jiàn)光線觀察(右)的比較
近紅外線觀察(左)和可見(jiàn)光線觀察(右)的比較
                    


提供擴(kuò)展性的解決方案       


提供擴(kuò)展性的解決方案       

適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine(分析引擎)模塊
適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine(分析引擎)模塊
"顯微鏡控制軟件"作為核心對(duì)MX61A系統(tǒng)全體進(jìn)行控制。這個(gè)應(yīng)用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡,還能控制數(shù)碼照相機(jī)、電動(dòng)載物臺(tái)等外圍設(shè)備。軟件進(jìn)一步拓展了MX61A的擴(kuò)張性,滿足了不斷變化的分析需求。                       


實(shí)現(xiàn)對(duì)人和環(huán)境都沒(méi)有危害的自動(dòng)化       


符合SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)       

符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)S2-0706(有關(guān)安全的基準(zhǔn)),S8-0705(有關(guān)人體工程學(xué)的基準(zhǔn))和CE標(biāo)識(shí)(歐洲強(qiáng)制性認(rèn)證)等的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。符合人體工程學(xué)和安全對(duì)策等,高水準(zhǔn)的確保了可靠性。       


可選的傾斜觀察筒       

傾斜觀察筒示意圖
傾斜觀察筒示意圖
備有2種能以舒適姿勢(shì)觀察的傾斜鏡筒??梢愿鶕?jù)用途選擇雙目部?jī)A斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號(hào),或是目視和拍攝影像可同時(shí)觀察的U-SWETTR-5型號(hào)。                   


潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器       

潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
備有兩種堅(jiān)固耐用的潔凈型電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器。                       
6孔和5孔中心補(bǔ)正型號(hào)的明暗視場(chǎng)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器,采用了新型馬達(dá),實(shí)現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換。                   


高抗振本體       

高倍率觀察圖像示意圖
高倍率觀察圖像示意圖
采用了不易受振動(dòng)影響的高度剛性儀器機(jī)架。即便是高倍率觀察,也不會(huì)出現(xiàn)影像模糊的情況。                   


可以觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān)       

手控開(kāi)關(guān)操作部
手控開(kāi)關(guān)操作部
 配備了觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān),可以在檢查時(shí)執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法,就能得到基于登錄條件的最合適的觀察影像。自動(dòng)對(duì)焦的追蹤、單次拍攝的切換、對(duì)焦的細(xì)微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時(shí)的載物臺(tái)退出均可以執(zhí)行。                   


幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件       


晶圓搬送機(jī)組合       

晶圓搬送機(jī)
晶圓搬送機(jī)
可以對(duì)應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用,實(shí)現(xiàn)了對(duì)90 μm極薄晶圓的搬送,能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。                   


自動(dòng)載物臺(tái)組合       

自動(dòng)載物臺(tái)
自動(dòng)載物臺(tái)

 

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