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zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備chiller

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更新時(shí)間：2024-08-21 15:01:07瀏覽次數(shù)：244次

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zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備chiller，半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。

詳細(xì)介紹

zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備chiller

半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。

zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備chiller

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光），實(shí)驗(yàn)室精密裝置、高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。