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詳細介紹
產(chǎn)品特點：
◆高分辨
由于采用了共聚焦成像原理，Smartproof 5將傳統(tǒng)光學(xué)分辨率提高1.4倍，其XY方向線分辨率達到120 nm。
◆高測量精度
同時，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎(chǔ)上，Smartproof 5配備了精度高、重復(fù)性好的Z軸自動步進裝置，最小步進精度達到1nm，這使得高度上亞微米，甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。
◆高速掃描
傳統(tǒng)共聚焦采用點掃描成像，速度較慢；而Smartproof 5采用轉(zhuǎn)盤掃描，成像速度大大提高，的高精度模式掃描速度超過50幅/秒（2048*2048分辨率），可以說瞬間即可得到測量結(jié)果，大大提高工作效率。
◆真實色彩還原
還可使用三色LED 光源，能夠展現(xiàn)被測試樣表面的真實顏色，從而將傳統(tǒng)黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù)：
◆1. 波長：405nm
◆2. 分辨率：120nm
◆3. Z軸最小步進精度：1nm
◆4. 成像速度：常規(guī)共聚焦的2-3倍
◆5. 物鏡：2.5x-100x
◆6. 高度掃描范圍：高達5mm
◆7. 載物臺：150mm×150mm超大行程
◆8. 控制系統(tǒng)：Smartproof 5應(yīng)用軟件
◆9. 圖像處理和數(shù)據(jù)測量 ：
2D：距離，高度，角度，構(gòu)造元素，基于ISO 4287的輪廓粗糙度
3D：水平距離，3D距離，高度，角度，構(gòu)造點，面積，體積，基于ISO 25178的面粗糙度
其他：水平調(diào)整，形狀去除，濾波，去噪，報告
應(yīng)用：
◆1. 汽車制造：研究活塞的摩擦磨損、特殊要求的部件表面粗糙度測量、焊接組件及接縫處的角度測量
◆2. 航空航天工業(yè)：評價橡膠密封圈的磨損、特殊要求表面 的粗糙度分析
◆3. 科研：植入器官的表面測量
◆4. 微光學(xué)/機械制造：敏感精密光學(xué)部件的表面測量、精密機械部件的精密幾何測量
◆5. 電子：導(dǎo)線的幾何量測量（寬度，厚度等）、焊接結(jié)點的質(zhì)量過程控制
◆6. 造紙：紙張以及印刷品的表面測量
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