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詳細(xì)介紹
特點(diǎn):
出色的測(cè)量范圍和分辨率
◆憑借高達(dá)12.5mm的垂直傳感器測(cè)量范圍（標(biāo)準(zhǔn)60mm測(cè)針）和 0.8nm的分辨率，使得PGI儀器不但具有滿足各種測(cè)量形狀和輪廓的測(cè)量要求，還能提供測(cè)量表面粗糙度所需的分辨率。
獲得的標(biāo)定技術(shù)
◆采用標(biāo)定技術(shù)，可以一次測(cè)量全自動(dòng)完成全量程系統(tǒng)標(biāo)定，簡(jiǎn)單、快速及準(zhǔn)確。直觀的數(shù)值和圖形顯示，使用戶可以確信校準(zhǔn)結(jié)果和后續(xù)測(cè)量結(jié)果正確無誤。
200mm驅(qū)動(dòng)箱，直線度為0.125μm
◆高精度的直線度減少測(cè)量系統(tǒng)疊加在工件真實(shí)表面造成得儀器誤差。經(jīng)過精密配衍加工基準(zhǔn)軸為所有輪廓測(cè)量提供基準(zhǔn)；
0.125μm高密度橫向數(shù)據(jù)間隔
◆實(shí)現(xiàn)零件輪廓的精確再現(xiàn)離不開高密度的數(shù)據(jù)采集。憑借值為 1,600,000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)和0.125μm的數(shù)據(jù)間隔，大型和小型零件均能得到非常精確的測(cè)量結(jié)果。
低系統(tǒng)噪音 (2nm)
◆低噪音的完整系統(tǒng)提供了此類型儀器無法超越的粗糙度測(cè)量功能
450mm機(jī)動(dòng)立柱
◆機(jī)動(dòng)立柱可提供高精密位置控制以及大尺寸工件測(cè)量能力?？赏ㄟ^操縱桿手動(dòng)控制，也可以通過計(jì)算機(jī)執(zhí)行全面的系統(tǒng)編程。
技術(shù)參數(shù):
| 水平軸性能 | 400 | 800 | 1200 |
| 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度X/最小 | 120毫米/0.1毫米 | 200毫米/0.1毫米 | |
| 測(cè)量速度 | 0.1毫米/秒, 0.25毫米/秒,0.5毫米/秒和1毫米/秒 | ||
| 驅(qū)動(dòng)速度 | 0.1-10毫米/ 秒 | ||
| X軸數(shù)據(jù)采樣間隔 | 120毫米長(zhǎng)度上0.125微米 | 200毫米長(zhǎng)度上0.125微米 | |
| 數(shù)據(jù)點(diǎn) | 960,000 | 1,600,000 | |
| 直線度誤差[Pt](X=長(zhǎng)度) | 0.35微米/120毫米 | 0.35微米/200毫米 | 125納米/200毫米 |
| 基準(zhǔn)面校正 | 可選 | 可選 | 可選 |
| 垂直性能 | 400 | 800 | 1200 |
| 標(biāo)稱量程(Z) | 4毫米[60毫米測(cè)桿] | 8毫米[60毫米測(cè)桿] | 12.5毫米[60毫米測(cè)桿] |
| 分辨率(Z) | 12.8納米@4毫米范圍 | 3.2納米@8毫米范圍 | 0.8納米@12.5毫米范圍 |
| 量程與分辨率之比 | 312,500:1 | 2,500,000:1 | 15,625,000:1 |
| 測(cè)桿長(zhǎng)度，針尖尺寸，測(cè)量力 | 臂長(zhǎng)60毫米,金剛石測(cè)針半徑2微米,力度1mN，120毫米arm,0.5毫米半球,力度20mN | ||
| Z軸非線性(Z=傳感器位移) | (0.07+0.03Z[毫米])微米-校正后 | ||
| Z軸重復(fù)性(平面表面，金剛石測(cè)針) | 0.1微米 | 0.15微米 | |
| Z軸重復(fù)性(彎曲表面-金剛石測(cè)針) | 0.8微米 | 0.16微米 | |
| Z軸重復(fù)性(彎曲表面-球形測(cè)針) | 0.12微米 | ||
| 系統(tǒng)性能 | 400 | 800 | 1200 |
| 校正值Pt | 0.15微米 | 0.2微米 | |
| 人工校準(zhǔn)球[精度] | 80毫米標(biāo)稱半徑校準(zhǔn)玻璃標(biāo)準(zhǔn)器[5微米] | ||
| 系統(tǒng)噪音-Rq | 典型值5納米 | 典型值3納米 | 典型值2納米 |
| 半徑測(cè)量不確定性 | 0.1-80毫米=標(biāo)稱值的1到0.005%，80-1000毫米=標(biāo)稱值的0.005到0.1%，1000-2000毫米=標(biāo)稱值的0.1% | ||
| 傾角測(cè)量不確定性 | 0.5弧分不確定性(+/-35°范圍) | ||
| 大?。ㄩL(zhǎng)x寬x高） | 900x880x1750毫米 | ||
| 機(jī)動(dòng)立柱 | 450毫米垂直移動(dòng) | ||
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