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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品詳情
單蒸發(fā)皿程控鍍膜儀
基于客戶需求設(shè)計(jì)的一款針對(duì)電極制備和有機(jī)物發(fā)光LED的鍍膜設(shè)備，較常規(guī)產(chǎn)品，該產(chǎn)品新增旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)和程序控溫功能。精確控制溫度200℃-1500℃，較大可蒸鍍直徑50mm薄膜樣品，可用于制備金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
產(chǎn)品特點(diǎn)
光潔真空腔室：采用直徑210mm石英腔室，易清潔和放入樣品；
旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)：可獲得更均勻的薄膜樣品；
鎢絲加熱：采用特制鎢絲加熱器，較高溫度可達(dá)1500℃；
真空：內(nèi)置分子泵機(jī)組，可獲取更高真空；
自動(dòng)/手動(dòng)模式：控溫模式可選，手動(dòng)加程序控溫可隨意選擇。
技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng)目/型號(hào) ECH - 1500 -Ⅰ 較高溫度 1500℃（短期） 長期使用溫度 1450℃ 控溫方式 手動(dòng)、30段程序控溫; 樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 30rpm 加熱形式 鎢絲 蒸發(fā)源數(shù)量 單個(gè)（其他可定制） 進(jìn)氣口 φ6mm卡套，可通入惰性氣體保護(hù); 真空 極限真空5.0*10-5torr 較大功率 1.5kW 加熱較大電流 15A 外形尺寸 750*600*1350mm
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