電子級(jí)超純水系統(tǒng)

(水質(zhì)指標(biāo)均符合美國(guó)的ASTM標(biāo)準(zhǔn)，符合電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級(jí)) 

    預(yù)處理－反滲透－ 水箱－陽(yáng)床－陰床－混合床－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－精密過(guò)濾器－用水對(duì)象 

    預(yù)處理－一級(jí)反滲透－加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）－中間水箱－第二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過(guò)濾器－用水對(duì)象 

    預(yù)處理－二級(jí)反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過(guò)濾器－用水對(duì)象 

    預(yù)處理－二級(jí)反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密過(guò)濾器－用水對(duì)象 .

應(yīng)用場(chǎng)合 

· 系統(tǒng)適合用于半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路的場(chǎng)所； 

· 適合應(yīng)用于超純材料和超純化學(xué)試劑； 

· 實(shí)驗(yàn)室和中試車間 

· 汽車、家電表面拋光處理； 

· 其他高科技精微產(chǎn)品。