AL120晶圓搬送機(jī)可對(duì)應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，可以安全高效搬送薄片晶圓，非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
特點(diǎn)
適應(yīng)范圍廣、搭配靈活
高度實(shí)用性
高度可靠性
· 精密的靈活性
傳輸各種尺寸的硅片
基于硅片的尺寸，AL120系列有3種基本機(jī)型，單200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼容（AL120-L86）、單150mm或以下尺寸（AL120-L6）。每一款都是為了傳輸硅片已經(jīng)進(jìn)行顯微鏡檢查而設(shè)計(jì)。正面宏觀和背面宏觀檢查均可適用與各種尺寸的硅片。
可以傳輸超薄的硅片，到90um
為了應(yīng)對(duì)更具有挑戰(zhàn)性的超薄硅片，奧林巴斯特殊設(shè)計(jì)了傳輸手臂，可以應(yīng)對(duì)25片裝的200mm的片盒以及到90um的硅片，并完成安全傳輸和顯微鏡檢查?？赏ㄟ^(guò)面板最多可預(yù)設(shè)10種不同厚度的硅片信息。
精密的能力
增強(qiáng)宏觀檢查的功能
款的具備宏觀檢查功能的機(jī)臺(tái)（LMB型）具有360度自動(dòng)旋轉(zhuǎn)而完成硅片的全面宏觀檢查。這一設(shè)計(jì)可以方便的發(fā)現(xiàn)硅片正反面上的缺陷和顆粒。另外，可以通過(guò)使用搖桿將硅片傾斜30度進(jìn)行宏觀檢查。
LCD顯示屏提供精度和操作方便性
LCD顯示屏提供給操作者更直觀的視覺(jué)感受，使得檢查項(xiàng)目和次序一清二楚，以及安裝調(diào)試所需要設(shè)置的參數(shù)也一目了然。檢查結(jié)果、包括操作者輸入的宏觀和微觀的缺陷記號(hào)一并可以顯示在LCD顯示屏上，方便操作者的回顧。
精密的可靠性
對(duì)于硅片的安全性
AL120采用的兩種硅片檢測(cè)方式：硅片的厚度以及在片盒中的位置。傳輸前先掃描硅片在片盒中的位置。選購(gòu)的載物臺(tái)自動(dòng)鎖死功能提高了硅片傳輸?shù)秸婵蛰d物臺(tái)的安全性。
強(qiáng)大和可靠的顯微鏡
奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61通過(guò)不同的觀察方式：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉、紅外和深紫外，都可以呈現(xiàn)出高清晰度和高解析的圖像。配備電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)，與顯微鏡主機(jī)的孔徑光瀾具有聯(lián)動(dòng)功能，每一次物鏡的切換，孔徑光瀾也會(huì)自動(dòng)變換。
SEMI S2/S8 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
AL120設(shè)計(jì)不單只重視傳輸中的硅片的安全，也保證操作者的安全，*符合SEMI的S2和S8標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)也滿足了Rohs標(biāo)準(zhǔn)。
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