STM7測(cè)量顯微鏡

優(yōu)異的光學(xué)性能

STM7系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，此外，像差也被消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。

提供操作友好、高精度的3軸測(cè)量

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測(cè)量也日趨重要——不近是XY軸平面的測(cè)量，而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成為一家成功開(kāi)發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

適合多種樣品的載物臺(tái)

STM7的特色就是配備有一個(gè)可以測(cè)量大型樣品（包括300 mm晶圓和印刷電路板等）的300 mm×300 mm的載物臺(tái)。7提供了相同X和Y軸測(cè)量行程的大載物臺(tái)，這樣對(duì)于大樣品就不需要旋轉(zhuǎn)樣品。由于X和Y軸的測(cè)量行程都比較長(zhǎng)，可以將多個(gè)樣品排列在載物臺(tái)上，實(shí)現(xiàn)更有效的測(cè)量。

具有優(yōu)異的重復(fù)性的便捷、精確的聚焦系統(tǒng)

通過(guò)將圖案投影在視場(chǎng)范圍內(nèi)，由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí)，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)合焦的圖像，也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量，因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。

可以消除測(cè)量過(guò)程中主觀性影響的便捷功能

自動(dòng)邊緣檢測(cè)這個(gè)功能檢測(cè)樣品的邊緣，自動(dòng)獲取樣品的坐標(biāo)并測(cè)量。因此，操作者不再需要坐標(biāo)，這較大程度地降低了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量的影響。自動(dòng)邊緣檢測(cè)的另外一個(gè)特色是具有定時(shí)功能，實(shí)現(xiàn)了到規(guī)定的時(shí)間后自動(dòng)獲取坐標(biāo)。定時(shí)功能和腳踏開(kāi)關(guān)功能，使操作者能夠在手不需要離開(kāi)載物臺(tái)手柄的情況下專心測(cè)量。