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詳細(xì)介紹
世界各國(guó)均有自定規(guī)格，但普遍依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)無(wú)塵室塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如：10級(jí)在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級(jí)在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
1.氣流速度及其均勻度檢測(cè)，這項(xiàng)檢測(cè)是無(wú)塵室效果的其他各項(xiàng)檢測(cè)的前提，這項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了明確單向流無(wú)塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。
2.系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測(cè)。
3.室內(nèi)潔凈度的檢測(cè)。潔凈度的檢測(cè)是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級(jí)別，可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)。
4.自凈時(shí)間的檢測(cè)。通過(guò)確定自凈時(shí)間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。
5.氣流流型檢測(cè)。
6.噪聲的檢測(cè)。
7.照度的檢測(cè)。照度檢測(cè)的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
8.振動(dòng)的檢測(cè)。振動(dòng)檢測(cè)的目的是為了判明無(wú)塵室各表明的振動(dòng)幅度。
9.溫、濕度的檢測(cè)。溫、濕度檢測(cè)的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測(cè)無(wú)塵室的送風(fēng)溫度，檢測(cè)有代表性測(cè)點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)無(wú)塵室中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)敏感元件處的空氣度，檢測(cè)室內(nèi)空氣相對(duì)溫度，檢測(cè)回風(fēng)溫度。
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