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詳細(xì)介紹
美國(guó)AALBORG GFC17 GFC37 GFC 57 GFC67 GFC77氣體質(zhì)量流量控制器可控制流速在10 SCCM到1000 SLM范圍內(nèi)的多種氣體的流量。GFC利用通過(guò)加熱管進(jìn)行的熱傳遞直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，并且無(wú)需對(duì)（規(guī)定限值以內(nèi)）的氣體溫度或壓力變動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)償。該產(chǎn)品提供用于測(cè)量普通氣體流量的經(jīng)濟(jì)型鋁質(zhì)／銅質(zhì)結(jié)構(gòu)，以及用于有更高耐腐蝕要求應(yīng)用場(chǎng)合的316不銹鋼結(jié)構(gòu)。不帶一體式顯示屏的FMA5400系列控制器具有0 -5 Vdc和4 -20 mA模擬輸出，以便進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)；GFC系列控制器兼具一體式3?位數(shù)字顯示屏和模擬輸出。顯示屏可傾斜90度，查看讀數(shù)時(shí)很方便，顯示屏還經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)，可直接顯示以SCCM或SLM為單位的氮?dú)饬魉?，可以通過(guò)專門訂購(gòu)來(lái)獲得其它氣體校準(zhǔn)。
GFC質(zhì)量流量控制器帶有內(nèi)置式電磁閥，無(wú)論入口或出口壓力如何變化，都能保持穩(wěn)定的流速。設(shè)定值可通過(guò)電位器（通過(guò)殼體上的窗口可調(diào)整該電位器）本地控制，或者可以通過(guò)0-5 Vdc或4-20 mA（現(xiàn)場(chǎng)可選）模擬信號(hào)遠(yuǎn)程控制。
精度： 滿量程的±1%，包括在15 ~ 25°C (59 ~ 77°F)以及0.7 ~ 4.2 kg/cm2 (10 ~ 60 psia)范圍內(nèi)的線性度；對(duì)于流量 =100 SLM的控制器，在0 ~ 20%量程范圍內(nèi)精度為滿量程的±3%
重復(fù)性： 滿量程的±0.5%
溫度系數(shù)： 滿量程的0.15%/°C
壓力系數(shù)： 每psi (0.07 bar)為滿量程的0.01%
壓降： 50 psid
響應(yīng)時(shí)間：在滿量程的25 ~ 99%范圍大約5秒達(dá)到設(shè)定流速的±2%內(nèi)
氣體壓力： 70 kg/cm2表壓(1000 psig); 1.76 kg/cm2 (25 psig)宜
氣體和環(huán)境溫度： 5 ~ 50°C (41 ~ 122°F)
泄漏完整性： 對(duì)于外界環(huán)境，泄漏為1 x 10-7 cc/sec氦氣
接液材質(zhì)：
鋁質(zhì)型號(hào)： 陽(yáng)極氧化鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠O形圈
不銹鋼型號(hào)： 316不銹鋼和氟橡膠O形圈
輸出信號(hào)：
線性0 ~ 5 Vdc： 最小負(fù)載1000 V
4 ~ 20 mA： 環(huán)路電阻為50 ~ 500 V，噪聲±20 mV
傳感器電源： 12 Vdc @ 800 mA
（標(biāo)配）; 24 Vdc @ 650 mA（可選）
量程比： 50:1
運(yùn)輸重量： 1.8 kg (4 lb)
順從標(biāo)準(zhǔn)： EN55011 1類，B類；EN50082-1
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