光刻膠烘箱

一．烘箱特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100級(jí)；排氣口：３寸(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
二．執(zhí)行與滿足標(biāo)準(zhǔn)：
1.GB/T11158-1989高溫試驗(yàn)箱技術(shù)條件
2.GB2423.2-1989試驗(yàn)B
三．產(chǎn)品用途：
無(wú)塵潔凈烤箱適用于光刻膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
無(wú)塵潔凈烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

四．無(wú)塵潔凈烤箱技術(shù)參數(shù)：

1.設(shè)備型號(hào)：EGK-180
2.主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1無(wú)塵等級(jí)：Class 100;
2.2溫度范圍： 60～+300℃；
2.3溫度均勻度：200℃±3℃、300℃±4℃;
2.4溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動(dòng)形式。
2.7工作尺寸：W600×H600×D500mm
     外形尺寸：W950×H1510×D1250mm
2.8電源：380v , 50Hz，6.5Kw

3、箱體結(jié)構(gòu)：
3.1潔凈烤箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密加工(防污染)。
4、溫控系統(tǒng)
4.1采用日本OMRON E5A型溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定，度±0.3%FS；
4.2訊號(hào)來(lái)源：采日制進(jìn)口PT100溫度傳感器。
4.3輸出被控制組件：SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出。
5、完善的安全保護(hù)措施：
漏電斷路器、
控制線路保險(xiǎn)絲裝置、
超溫防止保護(hù)裝置、
電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、
馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、
機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示
逆向防止器、
無(wú)塵烤箱門面安全開關(guān)
6、選購(gòu)設(shè)備：
6.1 可程式溫控器
6.2六點(diǎn)溫度記錄儀
6.3三色指示燈
6.4烘烤層架