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技術(shù)文章

如何判斷真空系統(tǒng)有否漏氣及解決方法?

閱讀:2083          發(fā)布時間:2022-8-10
1. 如果在峰監(jiān)測窗口中m/z28 強度比m/z18強度 大于2則有漏氣可能,進一步判斷m/z28強度和m/z69強度比例,小于2即不漏氣,若大于2則有漏氣的可能。  2. 確認真空啟動的時間,一般情況下真空啟動2小時后才能達到較穩(wěn)的狀態(tài),如果啟動時間小于1小時,氮氣峰可能會略高。  3. 確認系統(tǒng)是否存在假漏氣:
1. 如果在峰監(jiān)測窗口中m/z28 強度比m/z18強度 大于2則有漏氣可能,進一步判斷m/z28強度和m/z69強度比例,小于2即不漏氣,若大于2則有漏氣的可能。
  2. 確認真空啟動的時間,一般情況下真空啟動2小時后才能達到較穩(wěn)的狀態(tài),如果啟動時間小于1小時,氮氣峰可能會略高。
  3. 確認系統(tǒng)是否存在假漏氣:
 ?、偃绻麆倓偢鼡Q鋼瓶,載氣管路中混入空氣,在一段時間內(nèi)造成氮氣峰較高,可加大分流比,使總流量加大到500 ml/min,吹掃10分鐘后再進行漏氣檢查。
 ?、谌绻麆倓偢鼡Q載氣管路過濾器,在一段時間內(nèi)造成氮氣峰較高,可加大分流比,使總流量加大到500 ml/min,吹掃10鐘后再進行漏氣檢查。
 ?、廴绻d氣管路中安裝了氦氣過濾器,使用一段時間后過濾器會產(chǎn)生飽和而釋放氮氣,造成峰監(jiān)測時氮氣峰略高,建議更換新的氦氣過濾器。
 ?、芎饧兌炔粔颍s質(zhì)中含有部分氮氣,在峰監(jiān)測時氮氣峰略高。
  4. 經(jīng)過以上判斷,若在峰監(jiān)測時依然漏氣,見的漏氣可能有:
 ?、偕V柱兩端的螺母是否緊固,新安裝的Vesple壓環(huán),需要升溫至200-250°C保持10—30分鐘后,降溫后重新緊固才可以*密封。
  ②檢查進樣口密封墊是否已經(jīng)超過使用次數(shù),進樣口螺母是否擰緊。
 ?、蹤z查進樣口襯管O型密封圈是否已經(jīng)破損, 進樣口襯管螺母是否擰緊。
 ?、苋绻婵涨婚T的密封圈上沾有灰塵,也會造成系統(tǒng)漏氣,請關(guān)閉真空后打開真空腔門,清除密封圈上的灰塵,重新啟動真空,進行漏氣檢查。

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