脫氣膜系統(tǒng)

脫氣膜是控制液體脫氣、供氣的中空纖維膜組件。具有致密表皮層的中空纖維不透過液體，只透過氣體，適合用于液體的脫氣、供氣。

在半導體工業(yè)中去除溶解氧和CO2以延長離子交換的工作時間和改善EDI的性能。在MAKE-UP系統(tǒng)中除去溶解氧，在拋光階段去除溶解氧使之達到小于1ppb。總氣體控制有助于加強超聲清洗效果。

脫氣膜廣泛地用于從水中除氧和其他液體除氧。氧氣O2對很多工藝過程有負面影響;氧氣會腐蝕和氧化材料。在電力和其他工業(yè)領域，如果沒有進行脫氣， 管道，鍋爐和設備很容易被腐蝕。脫氣膜提供了一種無需化學品添加和大型脫氣塔的易于操作，模塊化的水中脫氧方法。還提供只須一個步驟就可達到同時去除氧氣O2和二氧化碳CO2 ， 和氮氣控制的好處。在半導體領域的靈活應用在半導體和薄膜平板工業(yè)領域，高含氧量會導致低良品率。在微電子領域，脫氣膜能滿足<1ppb。