詳細(xì)介紹
英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱:旋涂?jī)x、旋涂機(jī)、甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)。
KW系列勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無(wú)油真空泵一起使用。
全腔室采用聚四氟 PTFE 高分子腔室材料,耐酸堿、防腐蝕,帶弧 度腔底方便膠導(dǎo)出;
· 具有腔室內(nèi)廢氣抽、排功能;
· 正、反轉(zhuǎn)旋涂方向可自由切換;
· 速度上升曲線實(shí)時(shí)顯示;
· 具有電機(jī)進(jìn)膠報(bào)警及保護(hù)功能;
· 具有基片吸附力不足報(bào)警及互鎖功能;
· 帶 USB,RS485,藍(lán)牙通信功能,配套 KW 系列勻膠機(jī) PC 端控制軟件。
性能參數(shù)
· 8 寸觸摸屏、BAMBOO 觸控筆,圖形化界面操作方便;
· 勻膠機(jī)功率 650W,勻膠均勻性±1%,機(jī)械泵功率 350W,抽速≥60L/MIN;
· 轉(zhuǎn)速范圍:1-12000RPM,轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±0.1%;
· 加減速度可調(diào)范圍:1-10000 RPM/S;
· 可設(shè)置 N 組 15 段轉(zhuǎn)速程序,存儲(chǔ) N 組數(shù)據(jù),每段時(shí)間 N(N 任意)。
· 寬電壓適用: 100-250VAC 單相電輸入;
· 外型尺寸:340mm(W)×500mm(D)×250mm(H);
· 產(chǎn)品質(zhì)量:勻膠機(jī) 18 KG,機(jī)械泵 9KG。
· 適用基片:Φ5-Φ200mm 圓片及方片