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詳細(xì)介紹
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM是單頻二管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學(xué)計(jì)量、高功率ArF的帶寬控制和193nm波長(zhǎng)的步進(jìn)校準(zhǔn)。光譜帶寬接近理論傅立葉變換限。中心波長(zhǎng)以0.01nm的度從190nm到194nm范圍可選。系統(tǒng)可選內(nèi)置高精度光譜儀，度可達(dá)1pm以保證對(duì)激光器調(diào)諧的zui大控制。
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM典型參數(shù)
型 號(hào) | IXION-193 SLM |
波 長(zhǎng) | 193.368 nm |
平均功率 | >10 mW |
脈 寬 | < 10 ns |
脈沖能量 | >1.6 µJ |
重復(fù)頻率 | 6 kHz |
M2 因子 | < 1.6 |
線 寬 | <120MHz;0.015pm; 0.004cm-1 |
調(diào)諧范圍 | >80GHz; 10pm;2.6cm-1 |
相干長(zhǎng)度 | >1 m |
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM特點(diǎn)
· 工業(yè)級(jí)的頻率轉(zhuǎn)換，密封封裝
· 插槽安裝激光二管泵浦
· 優(yōu)異的TEM00光束形貌
· 脈沖到脈沖之間波動(dòng)小
· 免維護(hù)與熱電溫控管理
· LabVIEW驅(qū)動(dòng)
· 內(nèi)置光譜儀用于波長(zhǎng)實(shí)時(shí)控制
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM應(yīng)用
· 193 nm波長(zhǎng)計(jì)量
· 光譜儀校準(zhǔn)
· 干涉測(cè)量
· 的種子注入
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM
光譜帶寬
脈沖寬度
長(zhǎng)時(shí)間功率穩(wěn)定性
光束質(zhì)量
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