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詳細介紹
PR300/301
等離子灰化機性能特點：
等離子灰化機:大口徑石英工作倉配備,小型一體化設(shè)計,操作簡單的觸摸屏控制面板
等離子灰化機性能用途：
硅晶圓表面光刻膠殘留物的灰化
零部件清洗
界面活性處理
微量研磨
基板的表面處理
等離子灰化機性能規(guī)格：
硅晶圓表面光刻膠殘留物的灰化
零部件清洗
界面活性處理
微量研磨
基板的表面處理
等離子灰化機性能規(guī)格：
| 型號 | PR300 | PR301 | PR500/PR510 | |
| 同調(diào)方式 | 手動2軸同調(diào)方式 | 自動調(diào)諧 | ||
| 反應(yīng)槽 | 3室超硬質(zhì)玻璃φ64×160mm×3 | 1室超硬質(zhì)玻φ118×160mm | 石英制φ215×305mm | |
| 加熱器 | 不銹鋼線圈加熱器 | 手動/觸摸屏聯(lián)動控制 | ||
| 配管材質(zhì) | SUS不銹鋼、特佛倫、銅、銅合金 | SUS不銹鋼、特佛倫 | ||
| 方式 | DP方式 | |||
| 頻率 | 13.56MHz | |||
| 反應(yīng)氣體 | 1系統(tǒng) | 2系統(tǒng) | ||
| 外形尺寸 (W*D*Hmm) | 438×520×556mm | 438×520×656mm | 438×520×760mm | |
| 輸出功率 | Max.300W | Max.500W | ||
| 價格： | 請問詢 | |||
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