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詳細(xì)介紹
微波材料學(xué)工作站--微波能化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
主要用途：
主要為應(yīng)用在半導(dǎo)體, 大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料，石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、
鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域
產(chǎn)品特點(diǎn)：
★操作便捷：氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結(jié)構(gòu)，使取放物料過(guò)程簡(jiǎn)化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，
方便操作，取消了復(fù)雜的法蘭安裝過(guò)程，減少了安裝造成的損壞
★多功能：3種加熱方式可選可變：純微波、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱；適應(yīng)包括金屬與合金在內(nèi)非易燃的任何樣品的熱處理
★開(kāi)發(fā)的微波場(chǎng)專(zhuān)用傳感器，精準(zhǔn)控溫
★安全：采用防止泄漏的四級(jí)聯(lián)鎖的保護(hù)屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔體設(shè)計(jì)，多重防泄漏保護(hù)
*標(biāo)配裝有專(zhuān)業(yè)微波抑制器
*內(nèi)置微波泄漏傳感器
★節(jié)能：使用壽命長(zhǎng)：磁控管微波加熱，避免和解決了傳統(tǒng)的加熱絲、硅碳棒、硅鉬棒等加熱元件容易損壞的問(wèn)題，
也避免了因加熱元件
損壞而造成的時(shí)間、實(shí)驗(yàn)進(jìn)度、維修費(fèi)用等各種損失
★采用無(wú)級(jí)可調(diào)、高穩(wěn)定度長(zhǎng)壽命、連續(xù)波微波源，確保設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行
★嵌入式微機(jī)一體化溫度控制系統(tǒng)；實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性控溫
★無(wú)須烘爐過(guò)程：爐腔整體自身發(fā)熱，加熱均勻
★微波能量即開(kāi)即有,無(wú)熱慣性,易于控制溫度
★爐體配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇
★保護(hù)管采用耐高溫合金管，氣管采用卡套或VCR接口，安裝簡(jiǎn)便
★配有萬(wàn)向輪調(diào)節(jié)底腳，方便移動(dòng)和固定
選配功能：
1.多溫區(qū)獨(dú)立加熱模塊：型號(hào)后面加Ｄ
◆多個(gè)不同溫區(qū)獨(dú)立加熱、獨(dú)立控制，（標(biāo)配 2 個(gè)溫區(qū)）
◆兩個(gè)以上溫區(qū)可額外選配
◆通常用于高溫下氣相或揮發(fā)分參與的材料合成
◆加熱區(qū)、恒溫區(qū)長(zhǎng)度均可調(diào)。
2.可根據(jù)用戶(hù)需求定制立式或其他尺寸
技術(shù)參數(shù)：
主要用途：
主要為應(yīng)用在半導(dǎo)體, 大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料，石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、
鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域
產(chǎn)品特點(diǎn)：
★操作便捷：氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結(jié)構(gòu)，使取放物料過(guò)程簡(jiǎn)化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，
方便操作，取消了復(fù)雜的法蘭安裝過(guò)程，減少了安裝造成的損壞
★多功能：3種加熱方式可選可變：純微波、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱；適應(yīng)包括金屬與合金在內(nèi)非易燃的任何樣品的熱處理
★開(kāi)發(fā)的微波場(chǎng)專(zhuān)用傳感器，精準(zhǔn)控溫
★安全：采用防止泄漏的四級(jí)聯(lián)鎖的保護(hù)屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔體設(shè)計(jì)，多重防泄漏保護(hù)
*標(biāo)配裝有專(zhuān)業(yè)微波抑制器
*內(nèi)置微波泄漏傳感器
★節(jié)能：使用壽命長(zhǎng)：磁控管微波加熱，避免和解決了傳統(tǒng)的加熱絲、硅碳棒、硅鉬棒等加熱元件容易損壞的問(wèn)題，
也避免了因加熱元件
損壞而造成的時(shí)間、實(shí)驗(yàn)進(jìn)度、維修費(fèi)用等各種損失
★采用無(wú)級(jí)可調(diào)、高穩(wěn)定度長(zhǎng)壽命、連續(xù)波微波源，確保設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行
★嵌入式微機(jī)一體化溫度控制系統(tǒng)；實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性控溫
★無(wú)須烘爐過(guò)程：爐腔整體自身發(fā)熱，加熱均勻
★微波能量即開(kāi)即有,無(wú)熱慣性,易于控制溫度
★爐體配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇
★保護(hù)管采用耐高溫合金管，氣管采用卡套或VCR接口，安裝簡(jiǎn)便
★配有萬(wàn)向輪調(diào)節(jié)底腳，方便移動(dòng)和固定
選配功能：
1.多溫區(qū)獨(dú)立加熱模塊：型號(hào)后面加Ｄ
◆多個(gè)不同溫區(qū)獨(dú)立加熱、獨(dú)立控制，（標(biāo)配 2 個(gè)溫區(qū)）
◆兩個(gè)以上溫區(qū)可額外選配
◆通常用于高溫下氣相或揮發(fā)分參與的材料合成
◆加熱區(qū)、恒溫區(qū)長(zhǎng)度均可調(diào)。
2.可根據(jù)用戶(hù)需求定制立式或其他尺寸
技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào)/model | WBQXCJ-4 | |
| 可加熱材料 | 非易燃易爆的任何材料 | |
| 微波頻率 | 2.45GHZ±50MHz | |
| 加熱方式 | 純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱 | |
| 功率/ KW(連續(xù)、可調(diào)) | 4 | |
| 樣品腔尺寸/mm | 標(biāo)配Φ45mm；長(zhǎng)度 1200mm。可根據(jù)用戶(hù)需求定制 | |
| 樣品腔(材質(zhì)) | 石英管 | 剛玉管 |
| 控溫范圍/℃ | 室溫-1200℃ | 室溫-1500℃ |
| 溫度測(cè)試元件 | 微波場(chǎng)專(zhuān)用傳感器 | |
| 溫度分辨率/℃ | 0.1 | |
| 控溫精度/℃ | 1200℃以下±1；1200℃以上±2℃ | |
| 溫度偏差/℃ | ||
| 溫度穩(wěn)定波動(dòng)度/℃ | ||
| 冷卻方式 | 標(biāo)配風(fēng)冷（可選配水冷） | |
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度/mm | 標(biāo)配100 可根據(jù)用戶(hù)需求定制 | |
| 升溫速率(標(biāo)配) | 0～200℃/min 任意設(shè)定，可編程、分段加熱 | |
| 溫度控制方式 | 10段可設(shè)工藝參數(shù)，7寸觸摸屏操作，帶數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能；提供手動(dòng)、自動(dòng)、恒溫控制模式，曲線(xiàn)實(shí)時(shí)顯示 | |
| 控制氣體 | 控制氣體：H2、CH4、Ar、N 2 、其它氣體可選 | |
| 流量控制 | 標(biāo)配 2 套質(zhì)量流量控制器：七星華創(chuàng)（真空保護(hù)閥門(mén)后置，匹配真空模式）；精度：0.8% | |
| 耐壓 | 1MPa；控制響應(yīng)時(shí)間：10ms | |
| 真空系統(tǒng)真空泵 | RVP2008；壓力范圍：10 -3 Torr~760 Torr 抽速：8.5 m 3/h | |
| 真空計(jì) | 數(shù)顯真空計(jì)：1atm-10 -1 Pa | |
| 標(biāo)配 | 質(zhì)量流量自動(dòng)控制系統(tǒng)配備控制計(jì)算機(jī)及控制軟件，可以?xún)?nèi)置實(shí)時(shí)顯示和保存生長(zhǎng)參數(shù) | |
| 氣路其他配置 | 氣柜、氣路及閥門(mén)等 | |
| 端口 | 不銹鋼 KF50 法蘭接口 | |
| 電源電壓（V） | 220 | |
| 微波泄漏量/mW/㎝2 | ≤0.4 | |
| 外型尺寸（長(zhǎng)´寬´高）/mm | 1500×750×1550 | |
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