微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐

產(chǎn)品應(yīng)用：該款具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強(qiáng)范圍寬、無(wú)內(nèi)部電極污染等優(yōu)異性能，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學(xué)氣相沉積、刻蝕以及甲烷轉(zhuǎn)化制氫、長(zhǎng)余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結(jié)、碳納米管修飾、納米粉體合成、處理水污染等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用

產(chǎn)品應(yīng)用：該款具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強(qiáng)范圍寬、無(wú)內(nèi)部電極污染等優(yōu)異性能，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學(xué)氣相沉積、刻蝕以及甲烷轉(zhuǎn)化制氫、長(zhǎng)余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結(jié)、碳納米管修飾 、納米粉體合成、處理水污染等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1. 垂直反應(yīng)器的設(shè)計(jì)可使等離子密度高；對(duì)稱的微波發(fā)生裝置，使產(chǎn)生的等離子環(huán)境更均勻。
2. 微波等離子體氣相沉積爐的諧振腔內(nèi)沒有內(nèi)部電極,可以避免電極放電所產(chǎn)生的污染,而且,它的運(yùn)行氣壓范圍比較寬,所產(chǎn)生等離子體密度高、區(qū)域大,穩(wěn)定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對(duì)薄膜的污染。

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)/model	WBMW-DLZ3
可加熱材料	非易燃易爆的任何材料
微波頻率	2.45GHZ±50MHz
加熱方式	純微波加熱
功率/KW	3 (功率可調(diào))
工作溫度/℃	1200
長(zhǎng)期工作溫度/℃	≤1100
溫度測(cè)試元件	微波場(chǎng)專用傳感器/紅外測(cè)溫可選
控溫精度/℃	±2（微波場(chǎng)專用傳感器）
石英管尺寸(外徑/內(nèi)經(jīng)X長(zhǎng)度)/mm	φ102/φ92x1000
真空系統(tǒng)配置（可選）	簡(jiǎn)單機(jī)械泵抽真空和不銹鋼法蘭； 10-1Pa真空用高檔機(jī)械泵及真空計(jì)； 10-2Pa真空用高檔機(jī)械泵、擴(kuò)散泵及真空計(jì)； 10-3Pa真空用高檔機(jī)械泵、分子泵及真空計(jì)；
升溫速率(標(biāo)配)	0～1000℃/min 任意設(shè)定，可編程，分段加熱
外型尺寸(長(zhǎng)x寬x高)/mm	1000´750´1830
微波泄漏量/ mW/㎝	≤0.4
提供相關(guān)配件	高溫手套×1、中文說明書×1
保質(zhì)期	整機(jī)免費(fèi)保修1年