多用途超聲波掃描顯微鏡

• 大掃描范圍：400mm x 400mm；（常 規(guī)機(jī)器一般約是300mm x 300mm） 

• 磁懸浮超高速機(jī)型，掃描速度：2米/秒； 掃描加速度：30米/秒2，KSI一臺機(jī)器相 當(dāng)于常規(guī)機(jī)器2臺的工作量。(常規(guī)機(jī)器小 于1米/秒)

• 高掃描重復(fù)精度：+/-0.1微米（常規(guī)機(jī)器 只能做到0.5微米）

• 低噪防誤判探頭（常規(guī)機(jī)器沒有， 無法在高速掃描時去除水花導(dǎo)致的誤判）

1.電子和聲學(xué)顯微系統(tǒng)單元

1. ⑴放大倍率：625倍

2. ⑵探頭頻率：5MHz~400MHz可選

3. ⑶探頭焦距：2mm ~ 50mm 可選

4. ⑷模數(shù)轉(zhuǎn)換AD卡 1GHz

5. ⑸聲學(xué)信號激發(fā)和接收裝置帶寬：5MHZ ~ 555MHz 

6. ⑹圖像顯示器24英寸2個

7. ⑺圖像格式：BMP、JPG、sam原廠格式 

8. ⑻圖像分辨率：3.2萬像素 x 3.2萬像素 

2.機(jī)械掃描單元 

1. ⑴X/Y/Z軸驅(qū)動系統(tǒng)是直線磁懸浮電機(jī) 

2. ⑵X軸和Y軸的掃描速度：2000mm/s，加速度是30米/平方秒

3. ⑶掃描范圍：400mm x 400mm

4. ⑷X軸和Y軸的精度：+/-0.1微米

5. ⑸Z軸是自鎖步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動 

6. ⑹Z軸調(diào)焦行程：100mm 

7. ⑺檢件臺：標(biāo)準(zhǔn)、托盤、真空吸附、定制等可選

8. ⑻樣品槽：580mm x 780mm x 110mm (W x D x H)

3.軟件單元：

1. ⑴主控軟件：Ksi Vision

2. ⑵掃描模式：A-、B-、C-、D-、G-、P-、Tray-、X-、Z-、3D-

3. ⑶眾多可選配置：透射模組/三維圖像分析軟件/濾波器等