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詳細(xì)介紹
ArBlade 5000是日立離子研磨儀的高性能機型。
它實現(xiàn)了超高速截面研磨。
高效率截面加工功能，使電鏡截面觀察時樣品加工更簡單。
特點：
截面研磨速率高達1 mm/h*1!
新研發(fā)的PLUSII離子槍發(fā)射出高電流密度離子束，大幅提高*2了研磨速率。
*1Si突出遮擋板邊緣100 µm，1個小時加工深度*2研磨速率是本公司產(chǎn)品(IM4000PLUS:2014生產(chǎn))的2倍截面研磨結(jié)果對比
(樣品：自動鉛筆芯、研磨時間：1.5小時)
| 本公司產(chǎn)品IM4000PLUS | ArBlade 5000 |
截面研磨寬度可達8 mm!
使用廣域截面研磨樣品座，加工寬度可達8 mm，十分適用于電子元件等的研磨。
復(fù)合型研磨儀
IM4000系列復(fù)合型(截面研磨、平面研磨)離子研磨儀。
可根據(jù)需求對樣品進行前處理。
| 截面研磨 切割或機械研磨難以處理好的軟材料或復(fù)合材料的截面制作 | 平面研磨 機械研磨后樣品的精修或表面清潔 |
| 截面研磨加工示意圖 | 平面研磨加工示意圖 |
規(guī)格：
| 通用 | |
|---|---|
| 使用氣體 | Ar(氬)氣 |
| 加速電壓 | 0～8 kV |
| 截面研磨 | |
| 研磨速率(材料Si) | 1 mm/hr*1以上含 1 mm/hr*1 |
| 研磨寬度 | 8 mm*2 |
| 樣品尺寸 | 20(W) × 12(D) × 7(H) mm |
| 樣品移動范圍 | X ±7 mm、Y 0~+3 mm |
| 離子束間歇加工功能 | 標(biāo)準(zhǔn)配置 |
| 擺動角度 | ±15°、±30°、±40° |
| 平面研磨 | |
| 加工范圍 | φ32 mm |
| 樣品尺寸 | φ50 × 25(H) mm |
| 樣品移動范圍 | X 0～+5 mm |
| 離子束間歇加工功能 | 標(biāo)準(zhǔn)配置 |
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 1 r/m、25 r/m |
| 傾斜角度 | 0～90° |
*1 Si突出遮擋板邊緣100µm，1個小時加工深度
*2 使用廣域截面研磨樣品座時
選配
| 項目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 高耐磨遮擋板 | 耐磨遮擋板是標(biāo)準(zhǔn)遮擋板的2倍左右(不含鈷) |
| 加工監(jiān)測用顯微鏡 | 放大倍率 15×～100× 雙目型、三目型(可加裝CCD) |
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