原位高溫光/電學(xué)測試裝置

簡 介：

原位高溫光/電學(xué)測試裝置（HTC-PERAIR-400）是一款為器件在真空加熱條件下測試電輸運而設(shè)計的專用原位設(shè)備。該款設(shè)備主要包含了水冷系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、真空反應(yīng)腔體以及光學(xué)窗口。其中真空反應(yīng)腔體上配置了加熱臺、電子輸運專用接頭、真空接頭和電極接線等配置，能夠保證在加熱過程中，連接器件進(jìn)行電子輸運。反應(yīng)腔體溫度可調(diào)，調(diào)節(jié)范圍為室溫到400℃，控溫精度±1℃。反應(yīng)腔體上部配備了光學(xué)窗口，可對器件進(jìn)行直接觀察，或進(jìn)行顯微觀察等，為器件在真空高溫條件下的電子輸運研究提供了便利。

主要特點

1. 該裝置能夠?qū)崿F(xiàn)器件或其他材料在真空條件下的加熱功能，其中樣品尺寸大小可為10*10*1或10*10*2mm的方形片；

2. 加熱腔體的溫度調(diào)節(jié)范圍為：室溫-400℃，溫度控制精度：±1℃，通過配備的溫控儀來實現(xiàn)上述控溫操作；

3. 主體加熱腔室的透射窗口尺寸為φ30mm，在裝置頂部位置；

4. 主體加熱腔室能夠配備了真空接頭，能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的真空處理（機(jī)械泵的真空處理），并保證整個氣體腔室密封性良好，不漏氣（不可承壓）；

5. 主體腔室外殼層設(shè)有水冷裝置，并配備水冷循環(huán)機(jī)保證整體外表面的溫度低于60℃；

6. 主體加熱腔體還配備了四套電子輸運專用接頭，具備電子屏蔽功能，能夠?qū)崿F(xiàn)器件電子輸運測試過程中的電子輸運功能；

7. 本設(shè)備由水冷系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、真空反應(yīng)腔體以及光學(xué)窗口等多個主體部分組成。