低真空CVD系統(tǒng)（BTF-1200C-III-SL-4ZL）

尺寸

1080×440×590mm ( 爐子)/2000×490×760mm ( 爐子+滑軌）

爐管尺寸

?50/?60/?80/?100/?130*2330mm(各管徑可選）

加熱區(qū)長度

300+300+300mm(900mm)

恒溫區(qū)長度

500mm

工作溫度

1100℃

Z高溫度

1200攝氏度

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度

±1℃

推薦升溫速率

10-20℃/min

額定電壓

AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

額定功率

7KW

供氣系統(tǒng)

外形尺寸

600x600x650mm

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)

100、200、500sccm（可根據(jù)用戶要求定制）

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S.

線性

±0.5～1.5%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

響應(yīng)時(shí)間

氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍

0.1～0.5 MPa

Z大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

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工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

低真空機(jī)組

工作環(huán)境

5℃～40℃

空氣相對(duì)濕度

≤85%

工作電電壓

220V±10% 50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105～1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25