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回轉(zhuǎn)PECVD BTF-1200C-R-PECVD

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更新時(shí)間:2024-07-23 12:05:14瀏覽次數(shù):71

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產(chǎn)品簡介

主要特點(diǎn):本款設(shè)備可以做金屬復(fù)合石墨烯材料,是目前Z的金屬復(fù)合材料制備設(shè)備

詳細(xì)介紹

要特點(diǎn):

本款設(shè)備可以做金屬復(fù)合石墨烯材料,是目前Z的金屬復(fù)合材料制備設(shè)備??梢杂糜趧?dòng)力電池,提升電池內(nèi)阻和能量密度,有效解決新能源汽車電池的問題。

1.該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn),管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻;

2.可左右大角度傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間。

3.該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD),連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等,配備真空系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)低壓條件下的實(shí)驗(yàn),針對(duì)低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。

技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

BTF-1200C-R-PECVD

顯示模式

7"液晶觸屏顯示

Z高溫度

1100

升溫速率

10/S

控溫精度

±1

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K

控溫方式

7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫,模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能。

爐管尺寸

Φ60*420*2+Φ100*360mm

爐管轉(zhuǎn)速

3~13r/min

傾斜角度

0~35°

加熱功率

3KW

射頻功率輸出范圍

0~500W

供氣系統(tǒng)

標(biāo)配三路質(zhì)量流量計(jì)(50/100/200sccm)(量程可選)

供電電源

220V50Hz

通訊接口

USB

外形尺寸

1600mm*650mm*1400mm

設(shè)備凈重

約220KG


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