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詳細介紹
主要特點
這是一款針對太陽能硒化設計的專用爐，爐體上端腔體可以實現(xiàn)離子增強硒化功能，利用上下腔體內(nèi)的壓差實現(xiàn)硒化氣體均勻擴散乘積在基體表面。上腔體溫度調(diào)節(jié)范圍50-600度，等離子強度0-500W可調(diào)，下腔體0-800度可調(diào)?？梢远ㄖ葡虑惑w連續(xù)工作。
技術參數(shù)
| 功率 | 上爐體：1.5kw |
| 下爐體：5kw | |
| 射頻功率 | 0-500W可調(diào) |
| 爐膛尺寸 | 上腔體：100*100*100mm |
| 下腔體：240*300*100mm | |
| 爐膛溫度 | 上腔體：50-600度可調(diào) |
| 下腔體：50-800度可調(diào) | |
| 重量 | 220Kg |
| 外型尺寸 | 1200*900*1600mm |
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