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詳細介紹
主要特點
微型滑軌式PECVD系統(tǒng)，電源范圍寬：0-100W可調(diào)；溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)；濺射區(qū)域?qū)挘赫芸烧{(diào)；其精致小巧，性價比，滑軌式設(shè)計使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫，是實驗室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的理想選擇，也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號： | BTF-1200C-S-SL-PECVD |
實驗機理： | PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單。 |
技術(shù)參數(shù)： | 開啟式真空管式滑軌爐 反應(yīng)腔體尺寸：Φ25、Φ50x1200mm 加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） 加熱區(qū)長度：230mm 恒溫區(qū)長度：100mm（±1℃） 工作溫度：1100℃ Z高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度：±1℃ 升溫速率：10℃/min 爐門結(jié)構(gòu)：開啟式 工作電源：AC220V /50HZ 額定功率：2.5KW |
真空泵和閥門 采用KF25系列波紋管和手動擋板閥； 真空度可達10-3torr； 數(shù)顯真空測試儀可直觀的顯示數(shù)值。 | |
質(zhì)量流量計控制氣路系統(tǒng)（可來圖訂制） 內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確的控制氣體流量； 氣體流量范圍可選，誤差為±1.5%； 一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥； 不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入。 | |
射頻電源與匹配器 電源：單相50/60Hz 220v±10% 加熱（功率）電源：2.5KW，25A 控制柜電源空氣開關(guān)：32A空氣開關(guān) 薄膜生長室溫度：室溫~ 1200℃ 信號頻率：13.56 MHz±0.005% 射頻功率輸出范圍：0~100W | |
外型尺寸： | 爐體：550×380×600mm 爐體加滑軌1500x380x620mm 供氣及真空系統(tǒng)：600×600×600mm |
凈重： | 100Kg |
認證和 | CE認證 號：ZL.0 （產(chǎn)品 ，防偽必究） |
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