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實驗室流化床管式爐系統(tǒng)帶超聲霧化

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更新時間:2024-03-13 16:04:50瀏覽次數(shù):160

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產(chǎn)品簡介

SGM實驗室流化床管式爐系統(tǒng)是由洛陽西格馬高溫電爐生產(chǎn)的管式電阻爐,流化床立式管式爐系統(tǒng)可配帶超聲霧化

詳細(xì)介紹

SGM 實驗室流化床管式爐系統(tǒng)是由洛陽西格馬高溫電爐生產(chǎn)的管式電阻爐,流化床立式管式爐系統(tǒng)可配帶超聲霧化。

流化床立式管式爐爐管為高純石英管,爐管內(nèi)部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔徑可單獨定制。.粉末可放在多孔石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域,進(jìn)行沉積實驗

用途范圍:

SGM 實驗室流化床管式爐系統(tǒng)是一款流化床立式管式爐,專門針對粉末表面沉積的CVD實驗。反應(yīng)氣體和均勻地通過反應(yīng)區(qū)固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)爐體設(shè)計為開啟式,當(dāng)實驗結(jié)束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應(yīng)后的顆粒。

注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時,也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū),所以實驗時要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調(diào)節(jié)氣體流量等

主要技術(shù)參數(shù):

電爐名稱 帶超聲霧化的流化床管式爐
基本參數(shù)

設(shè)計工作溫度:1100℃;
連續(xù)工作溫度:1000℃

設(shè)計升溫速率:≤20℃/min;

加熱區(qū):200mm(單溫區(qū))
恒溫區(qū):100mm (±2℃)注:

電壓:AC 220V單相, 50/60 Hz ;
設(shè)計功率:1.2KW
由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系

爐體結(jié)構(gòu)

雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

爐體設(shè)計為開啟式,以方便放樣和取樣

采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有美國進(jìn)口1760度高溫氧化鋁涂層,可延長儀器使用壽命和提高加熱效率

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金

加熱爐管

包含一異型石英管

爐管尺寸:兩端:25 mm O.D,22 mm I.D

中間:50 mmO.D,44 mm I.D

詳細(xì)尺寸請點擊左圖查看)

中間區(qū)域的大尺寸確保了物料高的氣動性

多孔石英板

孔徑:5~15 um

尺寸:22mmO.D x 4mm厚

密封法蘭

底部法蘭:常規(guī)設(shè)計1"不銹鋼真空法蘭,配備1/4"進(jìn)氣口用于懸浮氣體進(jìn)入

頂部法蘭:特殊設(shè)計的1"法蘭,可實現(xiàn)前驅(qū)體氣體或逆流氣體的進(jìn)氣和出氣,請點擊圖片查看詳情。

可選配件

多路氣路系統(tǒng)可用于氣體控制

氧分析儀:氧分析儀可安裝在系統(tǒng)中用于檢測氣體中的氧含量從而防止或減少CVD過程中的氧化現(xiàn)象。點擊下圖了解更多詳細(xì)信息。

溫控系統(tǒng)

可設(shè)置30段升溫,保溫和降溫程序。

采用PID方式來調(diào)節(jié)溫度,并帶有過熱和斷偶保護(hù)

控溫精度:±1℃

質(zhì)保期

一年保質(zhì)期,終生維護(hù)(不包含爐管、密封圈及加熱元件等耗材)

流化區(qū)域

配有一個2.4MHz超聲霧化儀,可將液體霧化成亞微米級液滴引入到加熱流化區(qū)域進(jìn)行熱解或粉末表面的CVD涂層包覆
氣體以及亞微米級的霧化顆粒均勻分布在整個爐腔中

固體顆粒被底部通入的向上氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)

可提供的熱傳導(dǎo)及顆粒表面的均勻包覆

爐體設(shè)計為開啟式,當(dāng)實驗結(jié)束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應(yīng)后的顆粒。

注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時,也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū),所以實驗時要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調(diào)節(jié)氣體流量

超聲霧化儀

220VAC,2.4MHz高頻超聲波霧化器,可將溶液霧化為亞微米級顆粒

液體罐上涂有氟化物,并采用氟膠密封圈密封

可設(shè)置超聲儀功率0-99%,每次按5%增加

外部配備有氟化物光學(xué)傳感器(耐腐蝕)以及閥門來確保內(nèi)部液面處于合適高度,避免液體量過少

316不銹鋼三通,帶有1/4英寸轉(zhuǎn)換接頭,用于通入載流氣體

使用注意事項

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),?爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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