小型快速退火爐\紅外燈管加熱爐

小型快速退火爐應(yīng)用：

小型快速退火電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現(xiàn)快速降溫。紅外線燈管是填充氣體內(nèi)含有部分鹵族元素或鹵化物的充氣白熾燈。這種紅外燈管加熱元件是為滑軌爐設(shè)計的,升溫速率可達到120℃/S。
應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗.

小型快速退火爐特點：

小型快速退火電爐可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動爐體，加之強風(fēng)冷設(shè)計，可對樣品進行快速升降溫處理；管內(nèi)測溫設(shè)計，
溫控精度高,額定升溫速率50℃/s;緊湊的臺式設(shè)計，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。

小型快速退火爐參數(shù)：