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詳細(xì)介紹
1200度石英管管式爐采是由洛陽(yáng)西格馬高溫電爐生產(chǎn)的管式電阻爐，1200度石英管管式爐采用石英爐管，管徑20~300mm可按需定制。雙O圈密封結(jié)構(gòu)搭配不同的真空機(jī)組獲得的10Pa~10^(-4)Pa真空度。搭配不同的法蘭總成可增強(qiáng)其擴(kuò)展性。也可以用于搭建CVD和PECVD系統(tǒng)。
使用溫度范圍：300～1200℃ 溫度控制精度：±1℃ 管徑：φ25~φ100
主要用途：
高溫管式爐提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、等纖維等領(lǐng)域；可擴(kuò)展性強(qiáng)，搭配不同的接口和真空系統(tǒng)及其他附件可組成不同用途的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，既是基礎(chǔ)組件也是核心組件。
管式爐主要特點(diǎn)：
雙層鈑金間的排溫風(fēng)扇能有效有效保護(hù)爐體表面溫升低于50℃；
爐蓋開(kāi)啟自動(dòng)斷電、超溫保護(hù)功能、漏電保護(hù)功能，以確保使用的安全性
程序控溫系統(tǒng)，可規(guī)劃多條曲線，可編程30段程序控溫
電路采用連續(xù)加熱輸出方式，雙回路供電，強(qiáng)弱電單獨(dú)走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性
加熱模塊采用直流信號(hào)調(diào)節(jié)輸出功率，避免了感應(yīng)電對(duì)控制信號(hào)的干擾
操作按鍵選用低壓金屬按鈕，自帶狀態(tài)指示燈，操作安全直觀
安全性：過(guò)升報(bào)警、菜單鎖定、過(guò)升防止、復(fù)電延時(shí)。
管式爐主要技術(shù)參數(shù)：
| 性能數(shù)據(jù) | 電爐名稱 | SGM 1200℃真空管式爐 |
| 爐管 | φ50/44*1000 φ60/54*1000 φ80/74*1000 | |
| 加熱區(qū) | 加熱區(qū)長(zhǎng)400~440mm,恒溫區(qū)約（±2℃）150mm（可個(gè)性定制管徑和加熱區(qū)長(zhǎng)度）。 SGM 1200管式爐在1000℃保溫1H時(shí)溫場(chǎng)曲線圖：（0點(diǎn)為溫區(qū)中點(diǎn)及熱電偶所在位置） | |
| 外形： L*W*H(mm) | 1000*420*520（約） | |
| 額定溫度(℃) | 1200 | |
| 工作溫度(℃) | 1100 | |
| 功率(Kw) | 3 | |
| 電壓(V) | 220 | |
| 升溫速率 | 推薦：10℃/min；額定20℃/min | |
| 部件與結(jié)構(gòu) | 溫控儀表 | 1、默認(rèn)標(biāo)配宇電AI智能控溫儀表，可選配：日本島電FP93溫控儀表、歐陸儀表、觸摸屏儀表、云端監(jiān)控儀表、其他儀表（。 2、具備30段曲線升溫功能（斜率升溫），可規(guī)劃多條曲線，滿足復(fù)雜工藝； 3、具備PID智能調(diào)節(jié)功能，可控硅移相觸發(fā)（調(diào)壓）； 4、具有過(guò)溫保護(hù)、斷偶保護(hù)功能，可在過(guò)溫或斷偶時(shí)自動(dòng)切斷電爐加熱電路； 5、可配備RS485、RS232通訊接口?？蛇x購(gòu)軟件與PC連接； 6、具備自整定功能。 |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 加熱元件 | OCr27A17Mo2 ；預(yù)埋式電阻絲（半露） | |
| 熱電偶 | 1、默認(rèn)K分度號(hào)；可選N分度號(hào)或其他分度號(hào)熱電偶； 2、可增加管內(nèi)測(cè)溫?zé)犭娕肌?/p> | |
| 爐膛耐材和結(jié)構(gòu) | 1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。 2、對(duì)開(kāi)式爐膛，有利于爐管的裝卸，也可用于觀察物料變化或快速冷卻。 | |
| 鈑金結(jié)構(gòu) | 帶風(fēng)機(jī)強(qiáng)制對(duì)流的雙層殼體結(jié)構(gòu) | |
| 主控元件 | 可控硅 | |
| 開(kāi)蓋斷電 | 上下?tīng)t膛間安裝行程開(kāi)關(guān)（或光電感應(yīng)開(kāi)關(guān)）爐門打開(kāi)時(shí)切斷加熱電路。 | |
| 過(guò)流保護(hù) | 電爐主回路上裝有斷路器，當(dāng)加熱電流過(guò)大超過(guò)斷路器額定電流時(shí)，會(huì)斷路，能有效保護(hù)電路 | |
| 管堵和密封結(jié)構(gòu) | 1、設(shè)備包含了2個(gè)氧化鋁管堵，在管式爐使用前將管堵裝入管內(nèi)至加熱區(qū)端點(diǎn)，能有效降低管內(nèi)熱輻射，有利于恒溫區(qū)的形成，且對(duì)法蘭和O圈有良好的保護(hù)作用； 2、可選購(gòu)更加潔凈的石英管堵，其更適合高真空系統(tǒng)； 3、設(shè)備包含了基礎(chǔ)的氣路總成，一般爐管兩端均配有不銹鋼法蘭（含機(jī)械壓力表，針閥、軟管接頭等） 4、可根據(jù)需要選購(gòu)波紋連接管、數(shù)顯真空計(jì)。 5、可選KF25接口以獲得較快抽氣速率，可選雙卡套接頭以連接供氣系統(tǒng) 6、可選裝卡箍式快裝法蘭，折頁(yè)法蘭，滑動(dòng)法蘭，水冷法蘭，帶觀察窗的法蘭，以及聚四氟乙烯法蘭等；點(diǎn)此了解 如圖：（基本的管式爐管堵和法蘭安裝示意圖）； | |
| 真空系統(tǒng)（選購(gòu)） | 多種真空機(jī)組供您選擇： 1、一般粗略抽真空、置換氣體洗爐管時(shí)：TW-1.5A單級(jí)泵可滿足使用需求。 2、雙極旋片機(jī)械泵：10^-2 torr，2XZ-2 真空泵能夠把管式爐爐管的真空度抽到10Pa左右。 3、分子泵機(jī)組：10^-5 torr 4、英國(guó)（INFICON）電容真空計(jì)（測(cè)量范圍3.8x10-5 -1125 Torr、可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量*、重復(fù)性好、可選防腐類型PCG554） | |
| 供氣系統(tǒng)（選購(gòu)） | 1、轉(zhuǎn)子流量計(jì)供氣系統(tǒng) 2、質(zhì)量流量控制器供氣系統(tǒng) 3、輔助供氣配件：鼓泡器、液態(tài)蒸發(fā)器等 |
服務(wù)與支持
售前咨詢
1、按客戶技術(shù)要求為您提供選型服務(wù)；
2、按客戶實(shí)驗(yàn)?zāi)康奶峁┩扑]服務(wù)；
3、客戶無(wú)法提供需求時(shí)，可為客戶提供預(yù)約實(shí)驗(yàn)服務(wù)（點(diǎn)此了解），先試驗(yàn)后購(gòu)買。
售中服務(wù)
1、為客戶提供實(shí)時(shí)生產(chǎn)進(jìn)度匯報(bào)服務(wù)；
2、發(fā)貨追蹤服務(wù)；
3、建立設(shè)備檔案生成*的可溯源身份編號(hào)，記錄其生產(chǎn)工藝，用料，配件等信息。
售后服務(wù)
1、安裝和操作指導(dǎo)；
2、可選購(gòu)的；
3、配件供應(yīng)服務(wù)（點(diǎn)此查看）。
質(zhì)保服務(wù)
電爐保修一年，并提供終身技術(shù)支持和維護(hù)服務(wù)；
特別提示：
1、加熱元件不在保修范圍內(nèi)（點(diǎn)此了解各種爐膛加熱元件的更換特點(diǎn)）。
2、石英配件，樣品坩堝等易損件不在保修范圍內(nèi)；
3、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
管式爐注意事項(xiàng)
1、爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa；
2、使用氣瓶向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，為了確保安全，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議使用壓力低于0.02MPa；
3、爐管為石英管時(shí)，爐內(nèi)溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓應(yīng)和大氣壓相當(dāng)；
4、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊；
5、對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
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