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詳細介紹
1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，額定溫度可以達到1700°C，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)應(yīng)用范圍：
1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)主要用于真空燒結(jié)、氣氛保護性燒結(jié)、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗。1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)結(jié)構(gòu)特點：
CVD 管式爐采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，爐膛采用氧化鋁纖維材料，能使樣品加熱到1700℃ 。左法蘭上安裝一個數(shù)字式真空顯示計，右法蘭上安裝有一KF-25 接口，可以與機械泵相連接（抽速為226L/m）。同時左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭，使得爐體可與混氣系統(tǒng)相連接。*的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序，其控溫*度為+/- 1 ℃ 。1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
| 電爐名稱 | 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng) | |
| 管式爐結(jié)構(gòu) | 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C. 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失 內(nèi)爐膛表面涂有優(yōu)質(zhì)高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 | |
| 加熱元件 | 1800 grade MoSi2 ( 8根) | |
| 額定工作溫度 | 1700℃ | |
| 額定升溫速率 | 5℃/min | |
| 額定降溫速率 | 5℃/min | |
| 加熱區(qū)長度 | 455mm (18") | |
| 恒溫區(qū)長度 | 150(+/-1℃) 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。 | |
| 溫控系統(tǒng) | 一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR 可設(shè)置30段升降溫程序 控溫儀表操作視頻 帶有過熱和斷偶保護 | |
| 控溫精度 | +/-1℃ | |
| 爐管材質(zhì)和尺寸 | 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管 （標配）OD: 60 mm：ID: 52mm x1000 mm length （選配）OD: 80 mm：ID: 72mm x1000 mm length | |
| 密封法蘭 | 兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝機械壓力表（圖片中的藍表為選配）和閥門 通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr 泄漏率額定6 mtorr/min | |
| 輸入電源 | AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：額定5KW | |
| 真空泵和配件 | 真空泵 | 一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內(nèi) 通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr |
| 配件 | 標配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭 一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍 可選：本公司的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。 | |
| 氣體流量計 | 3個浮子流量計（*度4%FS）安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體 *路氣體流量范圍為10-100 cc/min 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min 一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 ，來監(jiān)測混合氣體的壓力 四個不銹鋼針閥安裝在前面板上 | |
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