電子化學品超純水設(shè)備

超純水設(shè)備主要用途：

1、半導(dǎo)體行業(yè)：用于晶元6~12寸切割、清洗、再生、封測用水、半導(dǎo)體設(shè)備清洗、電子級無塵布無塵服清洗。

2、太陽能光伏行業(yè)：單晶硅、多晶硅切片清洗、太陽能電池、石英坩堝、多晶硅方舟、光伏玻璃、高純硅粉。

3、LCD、LED、OLED生產(chǎn)清洗用水，光學攝像頭清洗，光學材料清洗，導(dǎo)電玻璃清洗。

4、半導(dǎo)體集成電路板，線路板生產(chǎn)清洗用超純水。

5、鋰電池材料（磷酸鐵鋰、三元材料、鋰電池隔膜）、蓄電池、鋅錳電池生產(chǎn)用水。

6、電子級超純化學試劑用純水，納米級電子陶瓷材料純水、磁性材料用純水、航空新材料生產(chǎn)用水。

7、有色金屬、貴金屬冶煉用水、航空新材料生產(chǎn)用水、電容器材料腐蝕化成工藝用水、真空鍍膜、高純墨水等。

超純水設(shè)備設(shè)計參考標準：

電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范                                      GB50685-2011

中國國家電子級超純水規(guī)格                                      GB/T11446.1-2013

電子級水測試方法通則                                             GB/T 11446.3-2013

電子級水電阻率的測試方法                                      GB/T11446.4-2013

電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法    GB/T114465-2013

電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法              GB/T11446.7-2013

電子級水中總有機碳的測試方法                               GB/T 11446.8-2013

電子級水中微粒的儀器測試方法                               GB/T 11446.9-2013

電子級水細菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法                     GB/T 11446.10-2013

※中純環(huán)保品牌  『設(shè)計優(yōu)勢 』：

1、一對一專業(yè)服務(wù)，免費上門勘測場地，考慮放置區(qū)域與進場空間，免費檢測原水水質(zhì)。

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3、專業(yè)團隊配合設(shè)計、結(jié)合一對一服務(wù)人員的現(xiàn)場勘查、提供水處理解決方案一站式服務(wù)。

4、智能化設(shè)計，精準控制，自動化程度高，各單元可實現(xiàn)自動正洗/反洗/運行，聯(lián)動保護，報警指示，4-20ma數(shù)據(jù)開放，可遠傳至DCS中控系統(tǒng)，真正實現(xiàn)無人值守。

5、按照工藝需求分段檢測，可檢測電導(dǎo)率、電阻率、PH、ORP、溫度、流量、流速、壓力等參數(shù)，確保每一個工藝環(huán)節(jié)的產(chǎn)品水都合格，而不污染后段成品水，重視過程控制。

6、綜合投入成本與使用成本平衡考量的原則，設(shè)計適合客戶的產(chǎn)品。

※中純環(huán)保品牌  『生產(chǎn)優(yōu)勢 』：

1、核心部件全進口，同眾多國際品牌美國DOW、海德能、GE、西門子、羅門哈斯、丹麥格蘭富、羅斯蒙特、日本積水、施耐德等公司建立了良好的長期合作關(guān)系，產(chǎn)品質(zhì)量得到可靠保障。

2、供應(yīng)商進行產(chǎn)品考核，淘汰質(zhì)量差、服務(wù)差的不合格供應(yīng)商，優(yōu)選錄入合格供應(yīng)商系統(tǒng)。

3、嚴格執(zhí)行質(zhì)量管理體系，品質(zhì)為天，進行來料外觀與性能檢驗--生產(chǎn)過程檢驗--整機質(zhì)檢。

4、生產(chǎn)人員對應(yīng)編號生產(chǎn)，分組排班制作，責任制分工，建立績效考核、可追溯強。

5、整機出貨前的試運行檢驗，電氣點動測試，確保將合格產(chǎn)品交到客戶手中。

※中純環(huán)保品牌  『售后優(yōu)勢 』：

1、專業(yè)的安裝售后團隊，進行一對一服務(wù)，加強了后期安裝售后服務(wù)的時效性，提升滿意度。

2、建立安裝售后服務(wù)機制，進行績效考核，設(shè)立客服部門，投訴窗口，及時解決客戶訴求。

3、安裝調(diào)試過程全程指導(dǎo)、全程培訓，理論培訓，實際操機培訓，一般故障排查培訓。

4、建立客戶電子檔案，每月進行電話回訪，及時提供設(shè)備減低運轉(zhuǎn)成本方法與建議；

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6、鄭重承諾：整機免費質(zhì)保二年，技術(shù)服務(wù)；

一、超純水制取工藝推薦：

1、一級RO+EDI+拋混：產(chǎn)水電阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指標符合電子級超純水規(guī)范

源水→源水箱→增壓泵→砂濾器→炭濾器→軟化器/阻垢劑→保安過濾器→高壓泵→一級反滲透→一級水箱→增壓泵→精濾器→EDI電除鹽裝置→超純水箱（建議氮氣保護）→輸送泵→拋光混床→UV/TOC→精濾器→用水點→回水（建議管道循環(huán)、無死水）

注意：該工藝要求原水水質(zhì)情況較好、否則會對EDI電除鹽系統(tǒng)造成不可修復(fù)損傷

2、二級RO+EDI+拋混：產(chǎn)水電阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指標符合電子級超純水規(guī)范

源水→源水箱→增壓泵→砂濾器→炭濾器→軟化器/阻垢劑→保安過濾器→高壓泵→一級反滲透→一級水箱→PH調(diào)節(jié)→高壓泵→二級反滲透→二級水箱→增壓泵→精濾器→EDI電除鹽裝置→超純水箱（建議氮氣保護）→輸送泵→拋光混床→UV/TOC→精濾器→用水點→回水（建議管道循環(huán)、無死水）

注意：如微粒子要求與TOC要求較高，建議后段設(shè)置脫除微粒子與TOC指標的專用超濾UF膜（日本旭化成）

3、盤濾+UF+二級RO+EDI+拋混：產(chǎn)水電阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指標符合電子級超純水規(guī)范

源水→源水箱→增壓泵→盤濾→袋濾→超濾UF→超濾水箱→中間泵→保安過濾器→高壓泵→一級反滲透→一級水箱→PH調(diào)節(jié)→高壓泵→二級反滲透→二級水箱→增壓泵→精濾器→EDI電除鹽裝置→超純水箱（建議氮氣保護）→輸送泵→拋光混床→UV/TOC→精濾器→用水點→回水（建議管道循環(huán)、無死水）

注意：

1、如微粒子要求與TOC要求較高，建議后段設(shè)置脫除微粒子與TOC指標的專用超濾UF膜（日本旭化成）

2、以上工藝為全膜法工藝

3、一級RO+三級拋混：產(chǎn)水電阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指標符合電子級超純水規(guī)范

源水→活性炭濾芯→10um濾芯→5um濾芯→高壓泵→反滲透RO系統(tǒng)→一級拋光混床→二級拋光混床→三級拋光混床→精濾器→超純水箱（建議氮氣保護）→輸送泵→UV/TOC→精濾器→用水點→回水（建議管道循環(huán)、無死水）

注意：適用于小型超純水機組：流量范圍：50L/H-200L/H

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二、EDI超純水核心工藝介紹：

1、超濾UF系統(tǒng)

超濾系統(tǒng)主要的作用是分離懸浮物大分子膠體、黏泥、微生物、有機物等能夠?qū)Ψ礉B透膜造成污堵的雜質(zhì)。包括反洗殺菌劑投加系統(tǒng)、超濾裝置和反洗泵等。超濾（簡稱UF）是以壓力為推動力，利用超濾膜不同孔徑對液體進行分離的物理篩分過程。超濾膜多為不對稱結(jié)構(gòu)，由一層極?。ㄍǔＰ∮?μm）、具有一定尺寸孔徑的表皮層和一層較厚（通常為125μm）、具有海綿狀或指狀結(jié)構(gòu)的多孔層組成。前者起分離作用，后者起支撐作用。超濾膜的典型孔徑在0.01～0.1微米之間，對于細菌和大多數(shù)病菌、膠體、淤泥等具有的去除率。膜的公稱孔徑越小，去除率越高。超濾膜通常使用的材料都是高分子聚合物。對于超濾而言，被廣泛用來形象的分析超濾膜分離機理的說法是"篩分"理論。理想的超濾膜分離失篩分過程，即在壓力作用下，原料液中的溶劑和小的溶質(zhì)粒子從高壓料液側(cè)透過膜的低壓側(cè)，因為尺寸大于膜孔徑的大分子及微粒被膜阻擋，料液逐漸被濃縮；溶液中的大分子、膠體、蛋白質(zhì)、微粒等則被超濾膜截留而作為濃縮液被回收。然而，實際上超濾膜在分離過程中，膜的孔徑大小和膜表面的化學性質(zhì)等將分別起著不同的截留作用，因此，不能簡單的分析超濾現(xiàn)象，超濾膜具有孔結(jié)構(gòu)的重要特性，同時還具有膜表面的化學性質(zhì)。超濾膜的性能指標有滲透通量和截留率。超濾膜的耐壓性、耐清洗性、耐溫性等性能對于工業(yè)應(yīng)用時非常重要的。

膜組件結(jié)構(gòu)有板式、卷式、管式和中空纖維四種，從分離層的位置劃分為：內(nèi)壓、外壓及內(nèi)外壓三種。中空纖維膜是超濾膜的最主要型式之一，呈毛細管狀，經(jīng)噴絲紡制而成。其內(nèi)表面或外表面為致密層，或稱活性層，內(nèi)部為多孔支承體。致密層上密布微孔，溶液就是以其組份能否通過這微孔來達到分離的目的。原液在中空纖維膜內(nèi)孔或外側(cè)加壓流動，被過濾液體則從另一側(cè)流出。

2、反滲透RO系統(tǒng)

反滲透膜亦稱逆滲透（RO）是1960 年美國加利福尼亞大學的洛布(Loeb)與素里拉簡(Sourirtajan)發(fā)明的一項高新膜分離技術(shù)，其孔徑小至納米級（1 納米=10-9米 ），在一定的壓力下，H2O 分子可以通過 RO 膜，而源水中的無機鹽、重金屬離子、有機物、膠體、細菌、病毒等雜質(zhì)無法透過 RO 膜，從而使可以透過的純水和無法透過的濃縮水嚴格區(qū)分開來。

原理：滲透是一種物理現(xiàn)象，當兩種含有不同濃度鹽類的水，如用一張半滲透性的薄膜分開就會發(fā)現(xiàn)，含鹽量少的一邊的水分會透過膜滲到含鹽濃度融和到均等為止。然而，要完成這一過程需要很長時間，這一過程也稱為自然滲透。但如果在含鹽量高的水側(cè)，試加一個壓力，其結(jié)果也可以使上述滲透停止，這時的壓力稱為滲透壓力。如果壓力在加大，可以使水向相反方向滲透，而鹽分剩下。因此，反滲透除鹽原理，就是在有鹽分的水中（如原水），施以比自然滲透壓力更大的壓力，使?jié)B透向相反方向進行，把原水中的水分子壓到膜的另一邊，變成潔凈的水，從而達到出去水中鹽分的目的，這就是反滲透除鹽原理。

反滲透膜采用*的芳香族聚酰胺螺旋卷式復(fù)合膜，單支膜脫鹽率≥99%，反滲透裝置由復(fù)合膜元件、高壓泵、玻璃鋼壓力容器、化學清洗裝置、支架和儀表控制柜組成。配備就地控制盤，盤上安裝各種就地儀表和控制按鈕。反滲透脫鹽裝置采用PLC 控制，全自動運行。配備流量計、壓力表、電導(dǎo)率儀等。

3、PH調(diào)節(jié)系統(tǒng)

由于二氧化碳無法被RO膜脫除，它會存在于反滲透產(chǎn)水中，形成碳酸引起電導(dǎo)率的上升，通過將一級RO產(chǎn)水加堿調(diào)節(jié)PH到堿性（8.2 ） 左右，可將二氧化碳轉(zhuǎn)化成碳酸氫根離子，從而被二級RO膜脫除，確保二級RO產(chǎn)水符合要求。

pH 調(diào)節(jié)系統(tǒng)采用全自動方式控制，配備計量泵自動向管道中投加稀釋后的 NaOH 溶液，計量精確，整體設(shè)計輕巧，準確的速度控制，不受熱源及電磁干撓，通過PH在線監(jiān)測儀表的實時監(jiān)測，自動添加藥劑，保證二級 RO 產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定。

4、EDI電除鹽系統(tǒng)

EDI 設(shè)備連續(xù)電除鹽（EDI，Electro deionization），是利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子，同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過陰陽離子交換膜而被除去的過程。這一過程離子交換樹脂是電連續(xù)再生的，因此不需要使用酸和堿對之再生。這種新技術(shù)可以替代傳統(tǒng)的離子交換（DI）裝置，生產(chǎn)出電阻率≥15MΩ.CM 的超純水。離子交換膜和離子交換樹脂的工作原理相近，可以選擇性地透過離子，其中陰離子交換膜只允許陰離子透過，不允許陽離子透過；而陽離子交換膜只允許陽離子透過，不允許陰離子透過。在一對陰陽離子交換膜之間充填混合離子交換樹脂就形成了一個 EDI 單元。陰陽離子交換膜之間由混合離子交換樹脂占據(jù)的空間被稱為淡水室。將一定數(shù)量的 EDI 單元羅列在一起，使陰 離子交換膜和陽離子交換膜交替排列，在離子交換膜之間添加特殊的離子交換樹脂，其形成的空間被稱為濃水室。在給定的直流電壓的推動下，在淡水室中，離子交換樹脂中的陰陽離子分別向正、負極遷移，并透過陰陽離子交換膜進入濃水室，同時給水中的離子被離子交換樹脂吸附而占據(jù)由于離子電遷移而留下的空位。事實上離子的遷移和吸附是同時并連續(xù)發(fā)生的。通過這樣的過程，給水中的離子穿過離子交換膜進入到濃水室被去除而成為除鹽水。帶負電荷的陰離子（例如 OH-、Cl-）被正極（+）吸引而通過陰離子交換膜，進入到鄰近的濃水室。此后這些離子在繼續(xù)向正極遷移中遇到鄰近的陽離子交換膜，而陽離子交換膜不允許陰離子通過，這些離子即被阻隔在濃水中。淡水流中的陽離子（例如 Na+ 、H+）以類似的方式被阻隔在濃水室。在濃水室，透過陰陽膜的離子維持電中性。EDI 組件電流量和離子遷移量成正比。電流量由兩部分組成，一部分源于被除去離子的遷移，另一部分源于水本身電離產(chǎn)生的H+和OH-離子的遷移。在 EDI 組件中存在較高的電壓梯度，在其作用下，水會電解產(chǎn)生大量的H+和 OH-。這些就地產(chǎn)生的 H+和 OH-對離子交換樹脂有連續(xù)再生的作用。EDI 組件中的離子交換樹脂可以分為兩部分，一部分稱作工作樹脂，另一部分稱作拋光樹脂，二者的界限稱為工作前沿。工作樹脂承擔著除去大部分離子的任務(wù)，而拋光樹脂則承擔著去除弱電解質(zhì)等較難清除離子的任務(wù)。 

EDI的特點

1、無須用酸堿再生、無須酸堿儲備和酸堿稀釋運送設(shè)施、使用安全可靠,避免工人接觸酸堿

2、節(jié)省了再生用水及再生污水處理設(shè)施

3、降低了運行及維護成本

4、占地面積小、安裝簡單、產(chǎn)水率高(可達90-95%)

5、連續(xù)運行、產(chǎn)品水水質(zhì)穩(wěn)定、不會因再生而停機

5、拋光混床系統(tǒng)

拋光混床一般情況用在超純水處理系統(tǒng)末端，是樹脂離子交換的原理。容器內(nèi)部裝填有免再生拋光精混核子級離子交換樹脂，離子型態(tài)都是H、OH型，作為終端除鹽設(shè)備，可將前級給水的電阻率提升到用戶的需求值，以及對TOC、SIO2都有一定的控制能力。
    拋光混床離子交換對入水有特定的要求，其入水必須是陽、陰、混床離子交換系統(tǒng)的產(chǎn)水，或EDI連續(xù)電除鹽系統(tǒng)的產(chǎn)水。只有滿足其入水要求的給水條件，拋光混床離子交換才能夠長期穩(wěn)定運行。

6、UV殺菌器/TOC去除儀

UV殺菌器/TOC去除儀是一種物理殺菌法.細菌受紫外光照射后,紫外光譜能量為細菌核酸所吸收,其活力發(fā)生改變,菌體內(nèi)的蛋白質(zhì)和酶的合成發(fā)生障礙,因而導(dǎo)致微生物發(fā)生變異或死亡.根據(jù)試驗,波長在200～250nm的紫外線具有殺菌能力,而波長為253.7nm的紫外線殺菌。而波長為185nm的紫外線具有很好的TOC脫除效果。設(shè)備耗材為燈管。需要定期進行更換，使用壽命≥9000小時。

三、國家電子級超純水指標（GB/T11446.1-2013）：

四、部分經(jīng)典客戶案例：

五、全國聯(lián)保、服務(wù)體系：

1、專業(yè)的安裝售后團隊，進行一對一服務(wù)，加強了后期安裝售后服務(wù)的時效性，提升滿意度。

2、建立安裝售后服務(wù)機制，進行績效考核，設(shè)立客服部門，投訴窗口，及時解決客戶訴求。

3、安裝調(diào)試過程全程指導(dǎo)、全程培訓，理論培訓，實際操機培訓，一般故障排查培訓。 

4、建立客戶電子檔案，每月進行電話回訪，及時提供設(shè)備減低運轉(zhuǎn)成本方法與建議。 

5、多途徑售后反饋，提供全國售后維保服務(wù)，快速響應(yīng)，快速處理，24小時服務(wù)。

6、鄭重承諾：整機免費質(zhì)保二年，技術(shù)服務(wù)。

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