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新材料、金屬、化學材料 超純水設備

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更新時間:2023-09-21 17:12:15瀏覽次數(shù):197

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產(chǎn)品簡介

超純水設備主要用途:1、半導體行業(yè):用于晶元6~12寸切割、清洗、再生、封測用水、半導體設備清洗、電子級無塵布無塵服清洗

詳細介紹

超純水設備主要用途:

1、半導體行業(yè):用于晶元6~12寸切割、清洗、再生、封測用水、半導體設備清洗、電子級無塵布無塵服清洗。

2、太陽能光伏行業(yè):單晶硅、多晶硅切片清洗、太陽能電池、石英坩堝、多晶硅方舟、光伏玻璃、高純硅粉。

3、LCD、LED、OLED生產(chǎn)清洗用水,光學攝像頭清洗,光學材料清洗,導電玻璃清洗。

4、半導體集成電路板,線路板生產(chǎn)清洗用超純水。

5、鋰電池材料(磷酸鐵鋰、三元材料、鋰電池隔膜)、蓄電池、鋅錳電池生產(chǎn)用水。

6、電子級超純化學試劑用純水,納米級電子陶瓷材料純水、磁性材料用純水、航空新材料生產(chǎn)用水。

7、有色金屬、貴金屬冶煉用水、航空新材料生產(chǎn)用水、電容器材料腐蝕化成工藝用水、真空鍍膜、高純墨水等。

超純水設備設計參考標準:

電子工業(yè)純水系統(tǒng)設計規(guī)范                                      GB50685-2011

中國國家電子級超純水規(guī)格                                      GB/T11446.1-2013

電子級水測試方法通則                                             GB/T 11446.3-2013

電子級水電阻率的測試方法                                      GB/T11446.4-2013

電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法    GB/T114465-2013

電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法              GB/T11446.7-2013

電子級水中總有機碳的測試方法                               GB/T 11446.8-2013

電子級水中微粒的儀器測試方法                               GB/T 11446.9-2013

電子級水細菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法                     GB/T 11446.10-2013


※中純環(huán)保品牌  『設計優(yōu)勢 』:

1、一對一專業(yè)服務,免費上門勘測場地,考慮放置區(qū)域與進場空間,免費檢測原水水質。

2、了解客戶全天需求水量、瞬時用水量、水質要求、了解客戶生產(chǎn)工藝與行業(yè)特點。

3、專業(yè)團隊配合設計、結合一對一服務人員的現(xiàn)場勘查、提供水處理解決方案一站式服務。

4、智能化設計,精準控制,自動化程度高,各單元可實現(xiàn)自動正洗/反洗/運行,聯(lián)動保護,報警指示,4-20ma數(shù)據(jù)開放,可遠傳至DCS中控系統(tǒng),真正實現(xiàn)無人值守。

5、按照工藝需求分段檢測,可檢測電導率、電阻率、PH、ORP、溫度、流量、流速、壓力等參數(shù),確保每一個工藝環(huán)節(jié)的產(chǎn)品水都合格,而不污染后段成品水,重視過程控制。

6、綜合投入成本與使用成本平衡考量的原則,設計適合客戶的產(chǎn)品。

※中純環(huán)保品牌  『生產(chǎn)優(yōu)勢 』:

1、核心部件全進口,同眾多國際品牌美國DOW、海德能、GE、西門子、羅門哈斯、丹麥格蘭富、羅斯蒙特、日本積水、施耐德等公司建立了良好的長期合作關系,產(chǎn)品質量得到可靠保障。

2、供應商進行產(chǎn)品考核,淘汰質量差、服務差的不合格供應商,優(yōu)選錄入合格供應商系統(tǒng)。

3、嚴格執(zhí)行質量管理體系,品質為天,進行來料外觀與性能檢驗--生產(chǎn)過程檢驗--整機質檢。

4、生產(chǎn)人員對應編號生產(chǎn),分組排班制作,責任制分工,建立績效考核、可追溯強。

5、整機出貨前的試運行檢驗,電氣點動測試,確保將合格產(chǎn)品交到客戶手中。

※中純環(huán)保品牌  『售后優(yōu)勢 』:

1、專業(yè)的安裝售后團隊,進行一對一服務,加強了后期安裝售后服務的時效性,提升滿意度。

2、建立安裝售后服務機制,進行績效考核,設立客服部門,投訴窗口,及時解決客戶訴求。

3、安裝調試過程全程指導、全程培訓,理論培訓,實際操機培訓,一般故障排查培訓。

4、建立客戶電子檔案,每月進行電話回訪,及時提供設備減低運轉成本方法與建議;

5、多途徑售后反饋,提供全國售后維保服務,快速響應,快速處理,24小時服務;

6、鄭重承諾:整機免費質保二年,技術服務;

一、超純水制取工藝推薦:

1、一級RO+EDI+拋混:產(chǎn)水電阻率≥18MΩ.CM(25℃),其余指標符合電子級超純水規(guī)范

源水→源水箱→增壓泵→砂濾器→炭濾器→軟化器/阻垢劑→保安過濾器→高壓泵→一級反滲透→一級水箱→增壓泵→精濾器→EDI電除鹽裝置→超純水箱(建議氮氣保護)→輸送泵→拋光混床→UV/TOC→精濾器→用水點→回水(建議管道循環(huán)、無死水)

注意:該工藝要求原水水質情況較好、否則會對EDI電除鹽系統(tǒng)造成不可修復損傷

2、二級RO+EDI+拋混:產(chǎn)水電阻率≥18MΩ.CM(25℃),其余指標符合電子級超純水規(guī)范

源水→源水箱→增壓泵→砂濾器→炭濾器→軟化器/阻垢劑→保安過濾器→高壓泵→一級反滲透→一級水箱→PH調節(jié)→高壓泵→二級反滲透→二級水箱→增壓泵→精濾器→EDI電除鹽裝置→超純水箱(建議氮氣保護)→輸送泵→拋光混床→UV/TOC→精濾器→用水點→回水(建議管道循環(huán)、無死水)

注意:如微粒子要求與TOC要求較高,建議后段設置脫除微粒子與TOC指標的專用超濾UF膜(日本旭化成)

3、盤濾+UF+二級RO+EDI+拋混:產(chǎn)水電阻率≥18MΩ.CM(25℃),其余指標符合電子級超純水規(guī)范

源水→源水箱→增壓泵→盤濾→袋濾→超濾UF→超濾水箱→中間泵→保安過濾器→高壓泵→一級反滲透→一級水箱→PH調節(jié)→高壓泵→二級反滲透→二級水箱→增壓泵→精濾器→EDI電除鹽裝置→超純水箱(建議氮氣保護)→輸送泵→拋光混床→UV/TOC→精濾器→用水點→回水(建議管道循環(huán)、無死水)

注意:

1、如微粒子要求與TOC要求較高,建議后段設置脫除微粒子與TOC指標的專用超濾UF膜(日本旭化成)

2、以上工藝為全膜法工藝

3、一級RO+三級拋混:產(chǎn)水電阻率≥18MΩ.CM(25℃),其余指標符合電子級超純水規(guī)范

源水→活性炭濾芯→10um濾芯→5um濾芯→高壓泵→反滲透RO系統(tǒng)→一級拋光混床→二級拋光混床→三級拋光混床→精濾器→超純水箱(建議氮氣保護)→輸送泵→UV/TOC→精濾器→用水點→回水(建議管道循環(huán)、無死水)

注意:適用于小型超純水機組:流量范圍:50L/H-200L/H

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二、EDI超純水核心工藝介紹:

1、超濾UF系統(tǒng)

超濾系統(tǒng)主要的作用是分離懸浮物大分子膠體、黏泥、微生物、有機物等能夠對反滲透膜造成污堵的雜質。包括反洗殺菌劑投加系統(tǒng)、超濾裝置和反洗泵等。超濾(簡稱UF)是以壓力為推動力,利用超濾膜不同孔徑對液體進行分離的物理篩分過程。超濾膜多為不對稱結構,由一層極?。ㄍǔP∮?μm)、具有一定尺寸孔徑的表皮層和一層較厚(通常為125μm)、具有海綿狀或指狀結構的多孔層組成。前者起分離作用,后者起支撐作用。超濾膜的典型孔徑在0.01~0.1微米之間,對于細菌和大多數(shù)病菌、膠體、淤泥等具有的去除率。膜的公稱孔徑越小,去除率越高。超濾膜通常使用的材料都是高分子聚合物。對于超濾而言,被廣泛用來形象的分析超濾膜分離機理的說法是"篩分"理論。理想的超濾膜分離失篩分過程,即在壓力作用下,原料液中的溶劑和小的溶質粒子從高壓料液側透過膜的低壓側,因為尺寸大于膜孔徑的大分子及微粒被膜阻擋,料液逐漸被濃縮;溶液中的大分子、膠體、蛋白質、微粒等則被超濾膜截留而作為濃縮液被回收。然而,實際上超濾膜在分離過程中,膜的孔徑大小和膜表面的化學性質等將分別起著不同的截留作用,因此,不能簡單的分析超濾現(xiàn)象,超濾膜具有孔結構的重要特性,同時還具有膜表面的化學性質。超濾膜的性能指標有滲透通量和截留率。超濾膜的耐壓性、耐清洗性、耐溫性等性能對于工業(yè)應用時非常重要的。

膜組件結構有板式、卷式、管式和中空纖維四種,從分離層的位置劃分為:內(nèi)壓、外壓及內(nèi)外壓三種。中空纖維膜是超濾膜的最主要型式之一,呈毛細管狀,經(jīng)噴絲紡制而成。其內(nèi)表面或外表面為致密層,或稱活性層,內(nèi)部為多孔支承體。致密層上密布微孔,溶液就是以其組份能否通過這微孔來達到分離的目的。原液在中空纖維膜內(nèi)孔或外側加壓流動,被過濾液體則從另一側流出。

2、反滲透RO系統(tǒng)

反滲透膜亦稱逆滲透(RO)是1960 年美國加利福尼亞大學的洛布(Loeb)與素里拉簡(Sourirtajan)發(fā)明的一項高新膜分離技術,其孔徑小至納米級(1 納米=10-9米 ),在一定的壓力下,H2O 分子可以通過 RO 膜,而源水中的無機鹽、重金屬離子、有機物、膠體、細菌、病毒等雜質無法透過 RO 膜,從而使可以透過的純水和無法透過的濃縮水嚴格區(qū)分開來。

原理:滲透是一種物理現(xiàn)象,當兩種含有不同濃度鹽類的水,如用一張半滲透性的薄膜分開就會發(fā)現(xiàn),含鹽量少的一邊的水分會透過膜滲到含鹽濃度融和到均等為止。然而,要完成這一過程需要很長時間,這一過程也稱為自然滲透。但如果在含鹽量高的水側,試加一個壓力,其結果也可以使上述滲透停止,這時的壓力稱為滲透壓力。如果壓力在加大,可以使水向相反方向滲透,而鹽分剩下。因此,反滲透除鹽原理,就是在有鹽分的水中(如原水),施以比自然滲透壓力更大的壓力,使?jié)B透向相反方向進行,把原水中的水分子壓到膜的另一邊,變成潔凈的水,從而達到出去水中鹽分的目的,這就是反滲透除鹽原理。

反滲透膜采用*的芳香族聚酰胺螺旋卷式復合膜,單支膜脫鹽率≥99%,反滲透裝置由復合膜元件、高壓泵、玻璃鋼壓力容器、化學清洗裝置、支架和儀表控制柜組成。配備就地控制盤,盤上安裝各種就地儀表和控制按鈕。反滲透脫鹽裝置采用PLC 控制,全自動運行。配備流量計、壓力表、電導率儀等。

3、PH調節(jié)系統(tǒng)

由于二氧化碳無法被RO膜脫除,它會存在于反滲透產(chǎn)水中,形成碳酸引起電導率的上升,通過將一級RO產(chǎn)水加堿調節(jié)PH到堿性(8.2 ) 左右,可將二氧化碳轉化成碳酸氫根離子,從而被二級RO膜脫除,確保二級RO產(chǎn)水符合要求。

pH 調節(jié)系統(tǒng)采用全自動方式控制,配備計量泵自動向管道中投加稀釋后的 NaOH 溶液,計量精確,整體設計輕巧,準確的速度控制,不受熱源及電磁干撓,通過PH在線監(jiān)測儀表的實時監(jiān)測,自動添加藥劑,保證二級 RO 產(chǎn)水水質穩(wěn)定。

4、EDI電除鹽系統(tǒng)

EDI 設備連續(xù)電除鹽(EDI,Electro deionization),是利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子,同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下,分別透過陰陽離子交換膜而被除去的過程。這一過程離子交換樹脂是電連續(xù)再生的,因此不需要使用酸和堿對之再生。這種新技術可以替代傳統(tǒng)的離子交換(DI)裝置,生產(chǎn)出電阻率≥15MΩ.CM 的超純水。離子交換膜和離子交換樹脂的工作原理相近,可以選擇性地透過離子,其中陰離子交換膜只允許陰離子透過,不允許陽離子透過;而陽離子交換膜只允許陽離子透過,不允許陰離子透過。在一對陰陽離子交換膜之間充填混合離子交換樹脂就形成了一個 EDI 單元。陰陽離子交換膜之間由混合離子交換樹脂占據(jù)的空間被稱為淡水室。將一定數(shù)量的 EDI 單元羅列在一起,使陰 離子交換膜和陽離子交換膜交替排列,在離子交換膜之間添加特殊的離子交換樹脂,其形成的空間被稱為濃水室。在給定的直流電壓的推動下,在淡水室中,離子交換樹脂中的陰陽離子分別向正、負極遷移,并透過陰陽離子交換膜進入濃水室,同時給水中的離子被離子交換樹脂吸附而占據(jù)由于離子電遷移而留下的空位。事實上離子的遷移和吸附是同時并連續(xù)發(fā)生的。通過這樣的過程,給水中的離子穿過離子交換膜進入到濃水室被去除而成為除鹽水。帶負電荷的陰離子(例如 OH-、Cl-)被正極(+)吸引而通過陰離子交換膜,進入到鄰近的濃水室。此后這些離子在繼續(xù)向正極遷移中遇到鄰近的陽離子交換膜,而陽離子交換膜不允許陰離子通過,這些離子即被阻隔在濃水中。淡水流中的陽離子(例如 Na+ 、H+)以類似的方式被阻隔在濃水室。在濃水室,透過陰陽膜的離子維持電中性。EDI 組件電流量和離子遷移量成正比。電流量由兩部分組成,一部分源于被除去離子的遷移,另一部分源于水本身電離產(chǎn)生的H+和OH-離子的遷移。在 EDI 組件中存在較高的電壓梯度,在其作用下,水會電解產(chǎn)生大量的H+和 OH-。這些就地產(chǎn)生的 H+和 OH-對離子交換樹脂有連續(xù)再生的作用。EDI 組件中的離子交換樹脂可以分為兩部分,一部分稱作工作樹脂,另一部分稱作拋光樹脂,二者的界限稱為工作前沿。工作樹脂承擔著除去大部分離子的任務,而拋光樹脂則承擔著去除弱電解質等較難清除離子的任務。 

EDI的特點

1、無須用酸堿再生、無須酸堿儲備和酸堿稀釋運送設施、使用安全可靠,避免工人接觸酸堿

2、節(jié)省了再生用水及再生污水處理設施

3、降低了運行及維護成本

4、占地面積小、安裝簡單、產(chǎn)水率高(可達90-95%)

5、連續(xù)運行、產(chǎn)品水水質穩(wěn)定、不會因再生而停機

5、拋光混床系統(tǒng)

拋光混床一般情況用在超純水處理系統(tǒng)末端,是樹脂離子交換的原理。容器內(nèi)部裝填有免再生拋光精混核子級離子交換樹脂,離子型態(tài)都是H、OH型,作為終端除鹽設備,可將前級給水的電阻率提升到用戶的需求值,以及對TOC、SIO2都有一定的控制能力。
    拋光混床離子交換對入水有特定的要求,其入水必須是陽、陰、混床離子交換系統(tǒng)的產(chǎn)水,或EDI連續(xù)電除鹽系統(tǒng)的產(chǎn)水。只有滿足其入水要求的給水條件,拋光混床離子交換才能夠長期穩(wěn)定運行。

6、UV殺菌器/TOC去除儀

UV殺菌器/TOC去除儀是一種物理殺菌法.細菌受紫外光照射后,紫外光譜能量為細菌核酸所吸收,其活力發(fā)生改變,菌體內(nèi)的蛋白質和酶的合成發(fā)生障礙,因而導致微生物發(fā)生變異或死亡.根據(jù)試驗,波長在200~250nm的紫外線具有殺菌能力,而波長為253.7nm的紫外線殺菌。而波長為185nm的紫外線具有很好的TOC脫除效果。設備耗材為燈管。需要定期進行更換,使用壽命≥9000小時。

三、國家電子級超純水指標(GB/T11446.1-2013):

四、部分經(jīng)典客戶案例:

五、全國聯(lián)保、服務體系:

1、專業(yè)的安裝售后團隊,進行一對一服務,加強了后期安裝售后服務的時效性,提升滿意度。

2、建立安裝售后服務機制,進行績效考核,設立客服部門,投訴窗口,及時解決客戶訴求。

3、安裝調試過程全程指導、全程培訓,理論培訓,實際操機培訓,一般故障排查培訓。 

4、建立客戶電子檔案,每月進行電話回訪,及時提供設備減低運轉成本方法與建議。 

5、多途徑售后反饋,提供全國售后維保服務,快速響應,快速處理,24小時服務。

6、鄭重承諾:整機免費質保二年,技術服務。

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