超聲波清洗超純水設(shè)備

超純水設(shè)備主要用途：

1、半導(dǎo)體行業(yè)：用于晶元6~12寸切割、清洗、再生、封測(cè)用水、半導(dǎo)體設(shè)備清洗、電子級(jí)無(wú)塵布無(wú)塵服清洗。

2、太陽(yáng)能光伏行業(yè)：?jiǎn)尉Ч琛⒍嗑Ч枨衅逑?、太?yáng)能電池、石英坩堝、多晶硅方舟、光伏玻璃、高純硅粉。

3、LCD、LED、OLED生產(chǎn)清洗用水，光學(xué)攝像頭清洗，光學(xué)材料清洗，導(dǎo)電玻璃清洗。

4、半導(dǎo)體集成電路板，線路板生產(chǎn)清洗用超純水。

5、鋰電池材料（磷酸鐵鋰、三元材料、鋰電池隔膜）、蓄電池、鋅錳電池生產(chǎn)用水。

6、電子級(jí)超純化學(xué)試劑用純水，納米級(jí)電子陶瓷材料純水、磁性材料用純水、航空新材料生產(chǎn)用水。

7、有色金屬、貴金屬冶煉用水、航空新材料生產(chǎn)用水、電容器材料腐蝕化成工藝用水、真空鍍膜、高純墨水等。

超純水設(shè)備設(shè)計(jì)參考標(biāo)準(zhǔn)：

電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范                                      GB50685-2011

中國(guó)國(guó)家電子級(jí)超純水規(guī)格                                      GB/T11446.1-2013

電子級(jí)水測(cè)試方法通則                                             GB/T 11446.3-2013

電子級(jí)水電阻率的測(cè)試方法                                      GB/T11446.4-2013

電子級(jí)水中痕量金屬的原子吸收分光光度測(cè)試方法    GB/T114465-2013

電子級(jí)水中痕量陰離子的離子色譜測(cè)試方法              GB/T11446.7-2013

電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測(cè)試方法                               GB/T 11446.8-2013

電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法                               GB/T 11446.9-2013

電子級(jí)水細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測(cè)試方法                     GB/T 11446.10-2013

※中純環(huán)保品牌  『設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì) 』：

1、一對(duì)一專(zhuān)業(yè)服務(wù)，免費(fèi)上門(mén)勘測(cè)場(chǎng)地，考慮放置區(qū)域與進(jìn)場(chǎng)空間，免費(fèi)檢測(cè)原水水質(zhì)。

2、了解客戶(hù)全天需求水量、瞬時(shí)用水量、水質(zhì)要求、了解客戶(hù)生產(chǎn)工藝與行業(yè)特點(diǎn)。

3、專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)配合設(shè)計(jì)、結(jié)合一對(duì)一服務(wù)人員的現(xiàn)場(chǎng)勘查、提供水處理解決方案一站式服務(wù)。

4、智能化設(shè)計(jì)，精準(zhǔn)控制，自動(dòng)化程度高，各單元可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)正洗/反洗/運(yùn)行，聯(lián)動(dòng)保護(hù)，報(bào)警指示，4-20ma數(shù)據(jù)開(kāi)放，可遠(yuǎn)傳至DCS中控系統(tǒng)，真正實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守。

5、按照工藝需求分段檢測(cè)，可檢測(cè)電導(dǎo)率、電阻率、PH、ORP、溫度、流量、流速、壓力等參數(shù)，確保每一個(gè)工藝環(huán)節(jié)的產(chǎn)品水都合格，而不污染后段成品水，重視過(guò)程控制。

6、綜合投入成本與使用成本平衡考量的原則，設(shè)計(jì)適合客戶(hù)的產(chǎn)品。

※中純環(huán)保品牌  『生產(chǎn)優(yōu)勢(shì) 』：

1、核心部件全進(jìn)口，同眾多國(guó)際品牌美國(guó)DOW、海德能、GE、西門(mén)子、羅門(mén)哈斯、丹麥格蘭富、羅斯蒙特、日本積水、施耐德等公司建立了良好的長(zhǎng)期合作關(guān)系，產(chǎn)品質(zhì)量得到可靠保障。

2、供應(yīng)商進(jìn)行產(chǎn)品考核，淘汰質(zhì)量差、服務(wù)差的不合格供應(yīng)商，優(yōu)選錄入合格供應(yīng)商系統(tǒng)。

3、嚴(yán)格執(zhí)行質(zhì)量管理體系，品質(zhì)為天，進(jìn)行來(lái)料外觀與性能檢驗(yàn)--生產(chǎn)過(guò)程檢驗(yàn)--整機(jī)質(zhì)檢。

4、生產(chǎn)人員對(duì)應(yīng)編號(hào)生產(chǎn)，分組排班制作，責(zé)任制分工，建立績(jī)效考核、可追溯強(qiáng)。

5、整機(jī)出貨前的試運(yùn)行檢驗(yàn)，電氣點(diǎn)動(dòng)測(cè)試，確保將合格產(chǎn)品交到客戶(hù)手中。

※中純環(huán)保品牌  『售后優(yōu)勢(shì) 』：

1、專(zhuān)業(yè)的安裝售后團(tuán)隊(duì)，進(jìn)行一對(duì)一服務(wù)，加強(qiáng)了后期安裝售后服務(wù)的時(shí)效性，提升滿(mǎn)意度。

2、建立安裝售后服務(wù)機(jī)制，進(jìn)行績(jī)效考核，設(shè)立客服部門(mén)，投訴窗口，及時(shí)解決客戶(hù)訴求。

3、安裝調(diào)試過(guò)程全程指導(dǎo)、全程培訓(xùn)，理論培訓(xùn)，實(shí)際操機(jī)培訓(xùn)，一般故障排查培訓(xùn)。

4、建立客戶(hù)電子檔案，每月進(jìn)行電話回訪，及時(shí)提供設(shè)備減低運(yùn)轉(zhuǎn)成本方法與建議；

5、多途徑售后反饋，提供全國(guó)售后維保服務(wù)，快速響應(yīng)，快速處理，24小時(shí)服務(wù)；

6、鄭重承諾：整機(jī)免費(fèi)質(zhì)保二年，技術(shù)服務(wù)；

一、超純水制取工藝推薦：

1、一級(jí)RO+EDI+拋混：產(chǎn)水電阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指標(biāo)符合電子級(jí)超純水規(guī)范

源水→源水箱→增壓泵→砂濾器→炭濾器→軟化器/阻垢劑→保安過(guò)濾器→高壓泵→一級(jí)反滲透→一級(jí)水箱→增壓泵→精濾器→EDI電除鹽裝置→超純水箱（建議氮?dú)獗Ｗo(hù)）→輸送泵→拋光混床→UV/TOC→精濾器→用水點(diǎn)→回水（建議管道循環(huán)、無(wú)死水）

注意：該工藝要求原水水質(zhì)情況較好、否則會(huì)對(duì)EDI電除鹽系統(tǒng)造成不可修復(fù)損傷

2、二級(jí)RO+EDI+拋混：產(chǎn)水電阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指標(biāo)符合電子級(jí)超純水規(guī)范

源水→源水箱→增壓泵→砂濾器→炭濾器→軟化器/阻垢劑→保安過(guò)濾器→高壓泵→一級(jí)反滲透→一級(jí)水箱→PH調(diào)節(jié)→高壓泵→二級(jí)反滲透→二級(jí)水箱→增壓泵→精濾器→EDI電除鹽裝置→超純水箱（建議氮?dú)獗Ｗo(hù)）→輸送泵→拋光混床→UV/TOC→精濾器→用水點(diǎn)→回水（建議管道循環(huán)、無(wú)死水）

注意：如微粒子要求與TOC要求較高，建議后段設(shè)置脫除微粒子與TOC指標(biāo)的專(zhuān)用超濾UF膜（日本旭化成）

3、盤(pán)濾+UF+二級(jí)RO+EDI+拋混：產(chǎn)水電阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指標(biāo)符合電子級(jí)超純水規(guī)范

源水→源水箱→增壓泵→盤(pán)濾→袋濾→超濾UF→超濾水箱→中間泵→保安過(guò)濾器→高壓泵→一級(jí)反滲透→一級(jí)水箱→PH調(diào)節(jié)→高壓泵→二級(jí)反滲透→二級(jí)水箱→增壓泵→精濾器→EDI電除鹽裝置→超純水箱（建議氮?dú)獗Ｗo(hù)）→輸送泵→拋光混床→UV/TOC→精濾器→用水點(diǎn)→回水（建議管道循環(huán)、無(wú)死水）

注意：

1、如微粒子要求與TOC要求較高，建議后段設(shè)置脫除微粒子與TOC指標(biāo)的專(zhuān)用超濾UF膜（日本旭化成）

2、以上工藝為全膜法工藝

3、一級(jí)RO+三級(jí)拋混：產(chǎn)水電阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指標(biāo)符合電子級(jí)超純水規(guī)范

源水→活性炭濾芯→10um濾芯→5um濾芯→高壓泵→反滲透RO系統(tǒng)→一級(jí)拋光混床→二級(jí)拋光混床→三級(jí)拋光混床→精濾器→超純水箱（建議氮?dú)獗Ｗo(hù)）→輸送泵→UV/TOC→精濾器→用水點(diǎn)→回水（建議管道循環(huán)、無(wú)死水）

注意：適用于小型超純水機(jī)組：流量范圍：50L/H-200L/H

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二、EDI超純水核心工藝介紹：

1、超濾UF系統(tǒng)

超濾系統(tǒng)主要的作用是分離懸浮物大分子膠體、黏泥、微生物、有機(jī)物等能夠?qū)Ψ礉B透膜造成污堵的雜質(zhì)。包括反洗殺菌劑投加系統(tǒng)、超濾裝置和反洗泵等。超濾（簡(jiǎn)稱(chēng)UF）是以壓力為推動(dòng)力，利用超濾膜不同孔徑對(duì)液體進(jìn)行分離的物理篩分過(guò)程。超濾膜多為不對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)，由一層極薄（通常小于1μm）、具有一定尺寸孔徑的表皮層和一層較厚（通常為125μm）、具有海綿狀或指狀結(jié)構(gòu)的多孔層組成。前者起分離作用，后者起支撐作用。超濾膜的典型孔徑在0.01～0.1微米之間，對(duì)于細(xì)菌和大多數(shù)病菌、膠體、淤泥等具有的去除率。膜的公稱(chēng)孔徑越小，去除率越高。超濾膜通常使用的材料都是高分子聚合物。對(duì)于超濾而言，被廣泛用來(lái)形象的分析超濾膜分離機(jī)理的說(shuō)法是"篩分"理論。理想的超濾膜分離失篩分過(guò)程，即在壓力作用下，原料液中的溶劑和小的溶質(zhì)粒子從高壓料液側(cè)透過(guò)膜的低壓側(cè)，因?yàn)槌叽绱笥谀た讖降拇蠓肿蛹拔⒘１荒ぷ钃?，料液逐漸被濃縮；溶液中的大分子、膠體、蛋白質(zhì)、微粒等則被超濾膜截留而作為濃縮液被回收。然而，實(shí)際上超濾膜在分離過(guò)程中，膜的孔徑大小和膜表面的化學(xué)性質(zhì)等將分別起著不同的截留作用，因此，不能簡(jiǎn)單的分析超濾現(xiàn)象，超濾膜具有孔結(jié)構(gòu)的重要特性，同時(shí)還具有膜表面的化學(xué)性質(zhì)。超濾膜的性能指標(biāo)有滲透通量和截留率。超濾膜的耐壓性、耐清洗性、耐溫性等性能對(duì)于工業(yè)應(yīng)用時(shí)非常重要的。

膜組件結(jié)構(gòu)有板式、卷式、管式和中空纖維四種，從分離層的位置劃分為：內(nèi)壓、外壓及內(nèi)外壓三種。中空纖維膜是超濾膜的最主要型式之一，呈毛細(xì)管狀，經(jīng)噴絲紡制而成。其內(nèi)表面或外表面為致密層，或稱(chēng)活性層，內(nèi)部為多孔支承體。致密層上密布微孔，溶液就是以其組份能否通過(guò)這微孔來(lái)達(dá)到分離的目的。原液在中空纖維膜內(nèi)孔或外側(cè)加壓流動(dòng)，被過(guò)濾液體則從另一側(cè)流出。

2、反滲透RO系統(tǒng)

反滲透膜亦稱(chēng)逆滲透（RO）是1960 年美國(guó)加利福尼亞大學(xué)的洛布(Loeb)與素里拉簡(jiǎn)(Sourirtajan)發(fā)明的一項(xiàng)高新膜分離技術(shù)，其孔徑小至納米級(jí)（1 納米=10-9米 ），在一定的壓力下，H2O 分子可以通過(guò) RO 膜，而源水中的無(wú)機(jī)鹽、重金屬離子、有機(jī)物、膠體、細(xì)菌、病毒等雜質(zhì)無(wú)法透過(guò) RO 膜，從而使可以透過(guò)的純水和無(wú)法透過(guò)的濃縮水嚴(yán)格區(qū)分開(kāi)來(lái)。

原理：滲透是一種物理現(xiàn)象，當(dāng)兩種含有不同濃度鹽類(lèi)的水，如用一張半滲透性的薄膜分開(kāi)就會(huì)發(fā)現(xiàn)，含鹽量少的一邊的水分會(huì)透過(guò)膜滲到含鹽濃度融和到均等為止。然而，要完成這一過(guò)程需要很長(zhǎng)時(shí)間，這一過(guò)程也稱(chēng)為自然滲透。但如果在含鹽量高的水側(cè)，試加一個(gè)壓力，其結(jié)果也可以使上述滲透停止，這時(shí)的壓力稱(chēng)為滲透壓力。如果壓力在加大，可以使水向相反方向滲透，而鹽分剩下。因此，反滲透除鹽原理，就是在有鹽分的水中（如原水），施以比自然滲透壓力更大的壓力，使?jié)B透向相反方向進(jìn)行，把原水中的水分子壓到膜的另一邊，變成潔凈的水，從而達(dá)到出去水中鹽分的目的，這就是反滲透除鹽原理。

反滲透膜采用*的芳香族聚酰胺螺旋卷式復(fù)合膜，單支膜脫鹽率≥99%，反滲透裝置由復(fù)合膜元件、高壓泵、玻璃鋼壓力容器、化學(xué)清洗裝置、支架和儀表控制柜組成。配備就地控制盤(pán)，盤(pán)上安裝各種就地儀表和控制按鈕。反滲透脫鹽裝置采用PLC 控制，全自動(dòng)運(yùn)行。配備流量計(jì)、壓力表、電導(dǎo)率儀等。

3、PH調(diào)節(jié)系統(tǒng)

由于二氧化碳無(wú)法被RO膜脫除，它會(huì)存在于反滲透產(chǎn)水中，形成碳酸引起電導(dǎo)率的上升，通過(guò)將一級(jí)RO產(chǎn)水加堿調(diào)節(jié)PH到堿性（8.2 ） 左右，可將二氧化碳轉(zhuǎn)化成碳酸氫根離子，從而被二級(jí)RO膜脫除，確保二級(jí)RO產(chǎn)水符合要求。

pH 調(diào)節(jié)系統(tǒng)采用全自動(dòng)方式控制，配備計(jì)量泵自動(dòng)向管道中投加稀釋后的 NaOH 溶液，計(jì)量精確，整體設(shè)計(jì)輕巧，準(zhǔn)確的速度控制，不受熱源及電磁干撓，通過(guò)PH在線監(jiān)測(cè)儀表的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，自動(dòng)添加藥劑，保證二級(jí) RO 產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定。

4、EDI電除鹽系統(tǒng)

EDI 設(shè)備連續(xù)電除鹽（EDI，Electro deionization），是利用混和離子交換樹(shù)脂吸附給水中的陰陽(yáng)離子，同時(shí)這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過(guò)陰陽(yáng)離子交換膜而被除去的過(guò)程。這一過(guò)程離子交換樹(shù)脂是電連續(xù)再生的，因此不需要使用酸和堿對(duì)之再生。這種新技術(shù)可以替代傳統(tǒng)的離子交換（DI）裝置，生產(chǎn)出電阻率≥15MΩ.CM 的超純水。離子交換膜和離子交換樹(shù)脂的工作原理相近，可以選擇性地透過(guò)離子，其中陰離子交換膜只允許陰離子透過(guò)，不允許陽(yáng)離子透過(guò)；而陽(yáng)離子交換膜只允許陽(yáng)離子透過(guò)，不允許陰離子透過(guò)。在一對(duì)陰陽(yáng)離子交換膜之間充填混合離子交換樹(shù)脂就形成了一個(gè) EDI 單元。陰陽(yáng)離子交換膜之間由混合離子交換樹(shù)脂占據(jù)的空間被稱(chēng)為淡水室。將一定數(shù)量的 EDI 單元羅列在一起，使陰 離子交換膜和陽(yáng)離子交換膜交替排列，在離子交換膜之間添加特殊的離子交換樹(shù)脂，其形成的空間被稱(chēng)為濃水室。在給定的直流電壓的推動(dòng)下，在淡水室中，離子交換樹(shù)脂中的陰陽(yáng)離子分別向正、負(fù)極遷移，并透過(guò)陰陽(yáng)離子交換膜進(jìn)入濃水室，同時(shí)給水中的離子被離子交換樹(shù)脂吸附而占據(jù)由于離子電遷移而留下的空位。事實(shí)上離子的遷移和吸附是同時(shí)并連續(xù)發(fā)生的。通過(guò)這樣的過(guò)程，給水中的離子穿過(guò)離子交換膜進(jìn)入到濃水室被去除而成為除鹽水。帶負(fù)電荷的陰離子（例如 OH-、Cl-）被正極（+）吸引而通過(guò)陰離子交換膜，進(jìn)入到鄰近的濃水室。此后這些離子在繼續(xù)向正極遷移中遇到鄰近的陽(yáng)離子交換膜，而陽(yáng)離子交換膜不允許陰離子通過(guò)，這些離子即被阻隔在濃水中。淡水流中的陽(yáng)離子（例如 Na+ 、H+）以類(lèi)似的方式被阻隔在濃水室。在濃水室，透過(guò)陰陽(yáng)膜的離子維持電中性。EDI 組件電流量和離子遷移量成正比。電流量由兩部分組成，一部分源于被除去離子的遷移，另一部分源于水本身電離產(chǎn)生的H+和OH-離子的遷移。在 EDI 組件中存在較高的電壓梯度，在其作用下，水會(huì)電解產(chǎn)生大量的H+和 OH-。這些就地產(chǎn)生的 H+和 OH-對(duì)離子交換樹(shù)脂有連續(xù)再生的作用。EDI 組件中的離子交換樹(shù)脂可以分為兩部分，一部分稱(chēng)作工作樹(shù)脂，另一部分稱(chēng)作拋光樹(shù)脂，二者的界限稱(chēng)為工作前沿。工作樹(shù)脂承擔(dān)著除去大部分離子的任務(wù)，而拋光樹(shù)脂則承擔(dān)著去除弱電解質(zhì)等較難清除離子的任務(wù)。 

EDI的特點(diǎn)

1、無(wú)須用酸堿再生、無(wú)須酸堿儲(chǔ)備和酸堿稀釋運(yùn)送設(shè)施、使用安全可靠,避免工人接觸酸堿

2、節(jié)省了再生用水及再生污水處理設(shè)施

3、降低了運(yùn)行及維護(hù)成本

4、占地面積小、安裝簡(jiǎn)單、產(chǎn)水率高(可達(dá)90-95%)

5、連續(xù)運(yùn)行、產(chǎn)品水水質(zhì)穩(wěn)定、不會(huì)因再生而停機(jī)

5、拋光混床系統(tǒng)

拋光混床一般情況用在超純水處理系統(tǒng)末端，是樹(shù)脂離子交換的原理。容器內(nèi)部裝填有免再生拋光精混核子級(jí)離子交換樹(shù)脂，離子型態(tài)都是H、OH型，作為終端除鹽設(shè)備，可將前級(jí)給水的電阻率提升到用戶(hù)的需求值，以及對(duì)TOC、SIO2都有一定的控制能力。
    拋光混床離子交換對(duì)入水有特定的要求，其入水必須是陽(yáng)、陰、混床離子交換系統(tǒng)的產(chǎn)水，或EDI連續(xù)電除鹽系統(tǒng)的產(chǎn)水。只有滿(mǎn)足其入水要求的給水條件，拋光混床離子交換才能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

6、UV殺菌器/TOC去除儀

UV殺菌器/TOC去除儀是一種物理殺菌法.細(xì)菌受紫外光照射后,紫外光譜能量為細(xì)菌核酸所吸收,其活力發(fā)生改變,菌體內(nèi)的蛋白質(zhì)和酶的合成發(fā)生障礙,因而導(dǎo)致微生物發(fā)生變異或死亡.根據(jù)試驗(yàn),波長(zhǎng)在200～250nm的紫外線具有殺菌能力,而波長(zhǎng)為253.7nm的紫外線殺菌。而波長(zhǎng)為185nm的紫外線具有很好的TOC脫除效果。設(shè)備耗材為燈管。需要定期進(jìn)行更換，使用壽命≥9000小時(shí)。

三、國(guó)家電子級(jí)超純水指標(biāo)（GB/T11446.1-2013）：

四、部分經(jīng)典客戶(hù)案例：

五、全國(guó)聯(lián)保、服務(wù)體系：

1、專(zhuān)業(yè)的安裝售后團(tuán)隊(duì)，進(jìn)行一對(duì)一服務(wù)，加強(qiáng)了后期安裝售后服務(wù)的時(shí)效性，提升滿(mǎn)意度。

2、建立安裝售后服務(wù)機(jī)制，進(jìn)行績(jī)效考核，設(shè)立客服部門(mén)，投訴窗口，及時(shí)解決客戶(hù)訴求。

3、安裝調(diào)試過(guò)程全程指導(dǎo)、全程培訓(xùn)，理論培訓(xùn)，實(shí)際操機(jī)培訓(xùn)，一般故障排查培訓(xùn)。 

4、建立客戶(hù)電子檔案，每月進(jìn)行電話回訪，及時(shí)提供設(shè)備減低運(yùn)轉(zhuǎn)成本方法與建議。 

5、多途徑售后反饋，提供全國(guó)售后維保服務(wù)，快速響應(yīng)，快速處理，24小時(shí)服務(wù)。

6、鄭重承諾：整機(jī)免費(fèi)質(zhì)保二年，技術(shù)服務(wù)。

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