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半導(dǎo)體潔凈室顆粒計(jì)數(shù)器

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產(chǎn)品簡介

Metone3411粒子計(jì)數(shù)器,Metone3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器詳細(xì)介紹:Metone3411粒子計(jì)數(shù)器,Metone3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器產(chǎn)品介紹:Metone3411空氣粒子計(jì)數(shù)器便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器適用于半導(dǎo)體潔凈室監(jiān)測(cè)、過程標(biāo)記和顆粒故障排除等方面的應(yīng)用

詳細(xì)介紹

Metone3411粒子計(jì)數(shù)器,Metone3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器詳細(xì)介紹:

Metone3411粒子計(jì)數(shù)器,Metone3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器產(chǎn)品介紹:

Metone3411空氣粒子計(jì)數(shù)器便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器適用于半導(dǎo)體潔凈室監(jiān)測(cè)、過程標(biāo)記和顆粒故障排除等方面的應(yīng)用。Metone3411具有業(yè)界的 ISO 21501 數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性,是業(yè)內(nèi)最潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器。
Metone3411粒子計(jì)數(shù)器,Metone3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器

Metone3411粒子計(jì)數(shù)器,Metone3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

1、可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級(jí)別的顆粒計(jì)數(shù)器能讓排氣扇點(diǎn)塵不染

 

2、 熱插拔電池-確保儀器長時(shí)間連續(xù)運(yùn)行

由于儀器使用的是熱插拔電池,故無論儀器是充電還是斷電、計(jì)數(shù)歸零及采用備份電源時(shí)都無需停機(jī)

 

3、測(cè)試向?qū)В═est Wizard)能使您在組織潔凈室時(shí)讓合規(guī)性更容易得到保證

可在監(jiān)控您的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境時(shí)節(jié)省時(shí)間并消除錯(cuò)誤

 

4、 順序采樣系統(tǒng)

可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)控解決方案。用單臺(tái) MET ONE 3411 型空氣顆粒計(jì)數(shù)器可依次從多達(dá)32個(gè)位置進(jìn)行順序采樣。

 

5、靈活的通訊方式——設(shè)置簡單,數(shù)據(jù)傳輸方便
供選擇的無線,以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng),或者客戶已有監(jiān)控軟件,以便減少文書工作

 

6、直觀的用戶界面

簡便的區(qū)域,位置和運(yùn)行參數(shù)的配置和復(fù)制,節(jié)約運(yùn)行時(shí)間。只需將完整的配置拷貝到一個(gè) U 盤中,從而消除參數(shù)設(shè)置錯(cuò)誤,并節(jié)省時(shí)間。還可以在整個(gè)顆粒計(jì)數(shù)組部署采樣計(jì)劃!

 

7、符合ISO 21501-4 標(biāo)準(zhǔn)的可靠性和準(zhǔn)確性

專用于滿足特殊顆粒計(jì)數(shù)要求,儀器與儀器之間的準(zhǔn)確度和再現(xiàn)性*符合 ISO21501-4標(biāo)準(zhǔn)要求。


 

Metone3411粒子計(jì)數(shù)器,Metone3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域:

專應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的空氣顆粒計(jì)數(shù):

- 潔凈室驗(yàn)證監(jiān)測(cè)

- 潔凈室的分級(jí)

- ISO14644潔凈室驗(yàn)證

- 潔凈室顆粒物監(jiān)測(cè)

- 生產(chǎn)過程的連續(xù)監(jiān)測(cè)

- 顆粒污染源的排除過程

- HEPA過濾器檢漏,粒徑大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um

- 過濾器掃描

- 高壓氣體監(jiān)測(cè)可簡單地通過氣體選擇菜單選擇相應(yīng)氣體,流量會(huì)自動(dòng)調(diào)整

空氣顆粒計(jì)數(shù)器生命科學(xué)標(biāo)準(zhǔn)及委員會(huì):

- 國際標(biāo)準(zhǔn)化組織 (ISO)

- ISO14644潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

- ISO 21501顆粒分布測(cè)確定--用于無塵空間的光散射顆粒計(jì)數(shù)器

- 環(huán)境科學(xué)與技術(shù)研究所 (IEST)

 

Metone3411粒子計(jì)數(shù)器,Metone3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器產(chǎn)品參數(shù):

 通道個(gè)數(shù) 6
 粒徑 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
 光源 氦氖激光器
 重量 不含電池:15.9 公斤,電池:0.66 公斤
 尺寸 33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (寬 x 長 x 高)
 機(jī)箱材質(zhì) 便于清洗的鈍化不銹鋼
 流速 1.0 CFM (28.3 LPM)
 零計(jì)數(shù) ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標(biāo)準(zhǔn):5分鐘內(nèi)1顆或少于一顆, 95% 置信區(qū)間
 符合損失 在 50,000 /ft3 時(shí),為5%,符合ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn)
 泵的類型 可供連續(xù)使用的的多瓣閉路循環(huán)控制泵
 計(jì)數(shù)效率 在0.1 µm時(shí)為 50%。根據(jù)ISO 21501-4和JIS B 9921,粒徑大于0.15µm時(shí)為 99%
 運(yùn)行溫度 10 至 40°C; 相對(duì)濕度為10 至 90%,無冷凝
 顯示 ? VGA 彩色 TFT 觸摸屏
 打印機(jī) 高速熱敏打印機(jī)
 語言 英語,法語,德語,意大利語,西班牙語,韓語*,日語*,中文
 可以顯示的數(shù)值 9,999,999 displayed
 延遲時(shí)間 15秒鐘至23小時(shí)59分59秒
 采樣/停留時(shí)間 1秒鐘至23小時(shí)59分59秒
 計(jì)數(shù)警報(bào) 1~ 9,999,999 個(gè)計(jì)數(shù)值
 位置 編號(hào):0 至 999; 名稱:文字描述,顯示在打印輸出資料上
 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 5,000 個(gè)樣品, 在歷史數(shù)據(jù)查看頁面上可以滾動(dòng)(FIFO 或 Overflow)
 輸出 USB 客戶端 (版本為 1.1)USB 主機(jī)端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網(wǎng)配有802.11g通訊協(xié)議的無線輸出 (可選)MET ONE 2432 型順序采樣系統(tǒng) (警報(bào)和掃描探頭)
 鋰電池,可充電、可熱插拔 Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
 輸入 空氣速度探頭,相對(duì)濕度/溫度探頭
 自動(dòng) CDA 清洗 連接到CDA之后,清洗電磁閥會(huì)被激活
 電源 24VDC,配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 適配器
 電池類型 智能鋰電池,可充電,可熱插拔
 電池使用時(shí)間  最短 3 小時(shí)
 電池的充電時(shí)間 電池的充電時(shí)間
 包含電池?cái)?shù)量 2組


Metone 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器的隨附配件

 部件編號(hào) 描述
 2087966-01 等動(dòng)力探頭1.00 CFM,鍍鎳鋁制3/8"倒鉤接頭
 960380 樣品管,內(nèi)徑 3/8" ,長 10英尺
 2088035-01 等動(dòng)力探頭適配器,鋁制
 970650 等動(dòng)力探頭三腳架
 230-300-7052 24VDC電源輸出
 VP623500 電源線:115VAC, 6' L
 VP623501 電源線:115VAC, 6' L
 2087939-01 零計(jì)數(shù)過濾器 1CFM
 2087090 PortAll 軟件,CD
 460519 打印紙,2卷
 280-120-2024 2組鋰電池
 210-400-5171 觸摸屏手寫筆
 2088010-01 128M USD閃存驅(qū)動(dòng)
 410-150-0011 3針微型接線端子
 410-420-0020 接線端子罩殼
 490-200-0001 無線天線,附帶無線版本P / N 2088800-02


Metone3411便攜式空氣計(jì)數(shù)器可選配件

 部件編號(hào) 描述
 CAL_GAS_3411 3411型的氣體校準(zhǔn),包括氦、氬、二氧化碳和氮?dú)?/td>
 701241-01 3400系列IQ / OQ 驗(yàn)證文件(CD)
 2087966-02 等動(dòng)力探頭1.0 CFM,不銹鋼制3/8"倒鉤接頭
 2089406-01 等動(dòng)力探頭支架
 460519 打印紙(價(jià)格以每卷計(jì))
 280-300-5000 智能電源充電器
 280-120-2024 智能鋰電池
 2088928 溫度和相對(duì)濕度探針VAISALA HMP50
 2087939-01 零點(diǎn)計(jì)數(shù)過濾器(1.0 CFM型)
 460-400-4798 電纜,USB2.0 高速,1m
 2084045-02 Particle Vision PortAll, 2.0.x版,套件,下載工具軟件,適配器和說明書(串行電纜需單獨(dú)購買)
 700011-21 PortAll 許可標(biāo)準(zhǔn)版
 2088000-01 過濾器掃描探頭(電子式)1 CFM
 2088000-02 過濾器掃描探頭(無電子式)1 CFM
 2088012-02 適配器,USB轉(zhuǎn)RS232,USB線纜
 2088012-01 適配器,USB轉(zhuǎn)RS485,USB線纜
 2080732-8 高壓擴(kuò)散器,用于 1.0 CFM 設(shè)備。


                                       

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