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OX400低濃度氧化鋯氧分析儀

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更新時(shí)間:2024-03-31 14:24:52瀏覽次數(shù):178

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)單介紹: 橫河電機(jī)新推出的氧分析儀OX400,是公司在該技術(shù)的長(zhǎng)期經(jīng)驗(yàn)積累和業(yè)績(jī)基礎(chǔ)上研發(fā)出來(lái)的。

詳細(xì)介紹

OX400低濃度氧化鋯氧分析儀

低濃度氧化鋯氧分析儀OX400的氧化鋯傳感器中采用了薄膜沉積技術(shù),在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯(lián)接。

這樣不僅預(yù)防剝離,還可以減小傳感器尺寸,確保高速響應(yīng)和長(zhǎng)壽命。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用,并控制環(huán)境,空氣泄漏入惰性氣體及其他過(guò)程。

用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐,以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制

用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度,以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測(cè)量

測(cè)量氧氣濃度,防止粉塵運(yùn)輸中粉塵爆炸

特性

使用壽命長(zhǎng),響應(yīng)速度快

由于使用了橫河電機(jī)的薄膜沉積技術(shù),傳感器的壽命周期提高了三倍

圓柱形傳感器設(shè)計(jì)便于置換被測(cè)氣體,確保高速響應(yīng)

高性能和高可靠性

即使在低氧濃度下,仍具有的精度和線性

在不同應(yīng)用中,可選擇泵式或抽提采樣方式

內(nèi)置功能和多種自診斷功能

自帶多選擇器,自動(dòng)量程,特定量程以及泵開(kāi)/關(guān)功能

提供多種自診斷功能,以檢測(cè)故障,如加熱器溫度錯(cuò)誤,溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯(cuò)誤

出眾的維護(hù)性

可現(xiàn)場(chǎng)更換傳感器

小型輕量,易于安裝


規(guī)格

測(cè)量對(duì)象 惰性氣體中的氧氣濃度
(易燃性氣體、二氧化硅、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外)
測(cè)量系統(tǒng) 氧化鋯系統(tǒng)
采樣方法 泵式,抽提式等
樣氣條件 流速: 200 ± 25ml/min(僅用于傳感器)
溫度: 0~50℃(無(wú)結(jié)露)
濕度: 無(wú)結(jié)露
壓力: 0~300PaG
大容許壓力: 30kPaG
測(cè)量量程 0-10ppm O2至0-100vol% O2
輸出量程
自動(dòng): 0-10ppm,0-100ppm,0-1000ppm,0-1%,0-10%,0-(默認(rèn))其他: 可設(shè)為0- 0ppm,0- 00ppm,0-000 ppm,0- %,0- 0%,0-,1~9的整數(shù)
固定: 設(shè)為0-10ppm,0-100ppm,0-1000ppm,0-1%,0-10%,或0-
部分: 可設(shè)置下限值或上限值
模擬輸出 2路輸出,
一次: 4~20mA DC(大負(fù)載電阻: 550Ω)
二次: 可選為0~1,0~5,0~10V DC(負(fù)載電阻: 10kΩ或更大)
接點(diǎn)輸出
報(bào)警輸出2點(diǎn): 錯(cuò)誤接點(diǎn),O2濃度報(bào)警接點(diǎn)
量程范圍輸出1點(diǎn): 接點(diǎn)輸出
多選擇器(選配件): 流路切換接點(diǎn)輸出和測(cè)量中流路信息接點(diǎn)輸出
接點(diǎn)輸入 1點(diǎn): 采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程ON/OFF
自診斷
錯(cuò)誤(故障): 傳感器錯(cuò)誤,加熱器溫度錯(cuò)誤,溫度傳感器斷開(kāi),設(shè)備溫度錯(cuò)誤,CPU錯(cuò)誤,F(xiàn)AN停止
報(bào)警(警告): 加熱器不穩(wěn)定,傳感器錯(cuò)誤,電動(dòng)勢(shì)異常,非對(duì)稱電壓錯(cuò)誤錯(cuò)誤,錯(cuò)誤,傳感器電阻錯(cuò)誤,O2濃度上/下限,限
串口通信 RS-232,38400 bps
方法 (1)3點(diǎn): 10ppm,1000ppm,空氣,(2)2點(diǎn): 可設(shè)定為零點(diǎn)氣和量程氣,(3)1點(diǎn),(4)空氣
暖機(jī)時(shí)間 20分以內(nèi)
電源 100 - 120V AC/220 - 240V AC,50/60Hz
功耗 100~120V AC,200VA 大,220~240V AC,400 VA 大
尺寸 213 (W) x 132 (H) x 約375 (D) mm
質(zhì)量 約5kg
管線連接 氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
環(huán)境條件
安裝條件: 室內(nèi),盤裝或壁裝,非易燃區(qū)域
環(huán)境溫度: 0~40℃,無(wú)結(jié)露
環(huán)境濕度: 5~85%RH
儲(chǔ)存溫度: -5~50℃
符合的**標(biāo)準(zhǔn)
和EMC標(biāo)準(zhǔn)
**標(biāo)準(zhǔn): 61010-1:2001
EMC: EN 61326-1 Class A,Table 2(用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)) EN 61326-2-3,EN 61000-3-2,EN 61000-3-3

特性

重復(fù)性 ±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或)
線性 ±2%F.S.
±3%F.S.(0~100ppm或更低)
響應(yīng)時(shí)間 90%響應(yīng)
10秒內(nèi)(0~1%或更高)
30秒內(nèi)(小于0~1%)
漂移 ±2%F.S./周

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