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詳細(xì)介紹
美國(guó)Instrutech CCM502型冷陰極雙反磁控電離真空計(jì)，內(nèi)置控制器，提供一個(gè)對(duì)數(shù)線性模擬輸出，一個(gè)傳感器的狀態(tài)輸出，為各種過程控制方案提供了很大的靈活性。傳感器采用緊湊的金屬設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)單而堅(jiān)固，適用于多種工業(yè)應(yīng)用。在陽極安裝了一個(gè)輔助激活傳感器裝置，節(jié)省了冷陰極傳感器啟動(dòng)時(shí)間。超低雜散磁場(chǎng)的設(shè)計(jì)，超越了冷陰極傳統(tǒng)的應(yīng)用，擴(kuò)大了冷陰極技術(shù)使用范圍，例如：CCM502可以將冷陰極傳感器與對(duì)外部磁場(chǎng)敏感的常規(guī)冷陰極真空計(jì)組合使用，這種新型磁場(chǎng)設(shè)計(jì)也允許CCM502使用在強(qiáng)磁場(chǎng)中。雙腔傳感器組件可互換避免清洗，減少維護(hù)，從而使CCM502成為和經(jīng)濟(jì)型的真空計(jì)。重質(zhì)氣體建議使用低電流集電極版本，如氬氣，以防止自濺射，而高電流的版本使用推薦氣體，如氮?dú)?空氣。的傳感器設(shè)計(jì)和增強(qiáng)的信號(hào)處理技術(shù)為整個(gè)真空測(cè)量提供了和穩(wěn)定的壓力讀數(shù)。
產(chǎn)品特色
●低雜散磁場(chǎng)技術(shù)
●在惡劣環(huán)境下，使用壽命長(zhǎng)
●內(nèi)置控制器，對(duì)數(shù)線性模擬輸出
●雙傳感器可互換，零維護(hù)- 可換插頭
●抗腐蝕饋入裝置
●超緊湊尺寸
●可靠的快速激活傳感器設(shè)計(jì)
行業(yè)應(yīng)用
●真空爐
●分析儀器
●真空鍍膜
●半導(dǎo)體
●大學(xué)科研
●工業(yè)-激光
●醫(yī)療
性能指標(biāo)
測(cè)量范圍：7.6×10-10～1×10-2Torr
1.3×10-9～1.3×10-2 mbar
1.3×10-7～1.3Pa
精度（N2）:7.6×10 ～7.6×10 Torr:±30%讀數(shù)
重復(fù)性:7.6×10 ～7.6×10 Torr:±5%讀數(shù)
暴露在真空的材質(zhì)：鎳合金、氧化鋁、不銹鋼、玻璃
內(nèi)部容積：22.8cm (1.391in )
容許壓力：145psi，10bar絕壓（于惰性氣體＜50℃）
溫度：工作溫度：＋5～＋55℃；存儲(chǔ)溫度：-40～70℃
烘烤溫度（法蘭）：150℃（于表，電子元件移除）
相對(duì)濕度：
7.6×10-8～7.6×10-3Torr 0～95% 相對(duì)濕度，非冷凝
7.6×10-9～7.6×10 -3Torr 0～70% 相對(duì)濕度，非冷凝
重量：0.28kg(0.61 lb.)（NW25KF接口）
外殼：鋁擠壓
安裝方式：任意
模擬輸出：對(duì)數(shù)線性0～8Vdc，1V/十進(jìn)制
錯(cuò)誤信號(hào)：模擬輸出開關(guān)≥10V
響應(yīng)時(shí)間：p＝7.6×10 Torr ～1秒
p＞7.6× 10-7Torr ＜100毫秒
輸出狀態(tài)：冷陰極開關(guān)狀態(tài)由打開集電極晶體管決定
（30V，VCE，100mA，IC）
晶體管關(guān)=傳感器關(guān)，晶體管開=傳感器開
供電電源：14.5～30Vdc，2W電源反接和過壓保護(hù)
電源電壓紋波：≤1Vp-p
測(cè)量室高電壓：工作電壓（陽極）：≤3.3KV
傳感器激活電壓（陽極）：≤4.5KV
測(cè)量室電流：低電流集電極版本≤100μA
高電流集電極版本≤500μA
電氣連接：9針D型外螺紋
CE認(rèn)證：EMC(EN61000-6-2, EN61000-6-3
EN61010-1, EN61326-1)
環(huán)境認(rèn)證：RoHS認(rèn)證
產(chǎn)品特色
●低雜散磁場(chǎng)技術(shù)
●在惡劣環(huán)境下，使用壽命長(zhǎng)
●內(nèi)置控制器，對(duì)數(shù)線性模擬輸出
●雙傳感器可互換，零維護(hù)- 可換插頭
●抗腐蝕饋入裝置
●超緊湊尺寸
●可靠的快速激活傳感器設(shè)計(jì)
行業(yè)應(yīng)用
●真空爐
●分析儀器
●真空鍍膜
●半導(dǎo)體
●大學(xué)科研
●工業(yè)-激光
●醫(yī)療
性能指標(biāo)
測(cè)量范圍：7.6×10-10～1×10-2Torr
1.3×10-9～1.3×10-2 mbar
1.3×10-7～1.3Pa
精度（N2）:7.6×10 ～7.6×10 Torr:±30%讀數(shù)
重復(fù)性:7.6×10 ～7.6×10 Torr:±5%讀數(shù)
暴露在真空的材質(zhì)：鎳合金、氧化鋁、不銹鋼、玻璃
內(nèi)部容積：22.8cm (1.391in )
容許壓力：145psi，10bar絕壓（于惰性氣體＜50℃）
溫度：工作溫度：＋5～＋55℃；存儲(chǔ)溫度：-40～70℃
烘烤溫度（法蘭）：150℃（于表，電子元件移除）
相對(duì)濕度：
7.6×10-8～7.6×10-3Torr 0～95% 相對(duì)濕度，非冷凝
7.6×10-9～7.6×10 -3Torr 0～70% 相對(duì)濕度，非冷凝
重量：0.28kg(0.61 lb.)（NW25KF接口）
外殼：鋁擠壓
安裝方式：任意
模擬輸出：對(duì)數(shù)線性0～8Vdc，1V/十進(jìn)制
錯(cuò)誤信號(hào)：模擬輸出開關(guān)≥10V
響應(yīng)時(shí)間：p＝7.6×10 Torr ～1秒
p＞7.6× 10-7Torr ＜100毫秒
輸出狀態(tài)：冷陰極開關(guān)狀態(tài)由打開集電極晶體管決定
（30V，VCE，100mA，IC）
晶體管關(guān)=傳感器關(guān)，晶體管開=傳感器開
供電電源：14.5～30Vdc，2W電源反接和過壓保護(hù)
電源電壓紋波：≤1Vp-p
測(cè)量室高電壓：工作電壓（陽極）：≤3.3KV
傳感器激活電壓（陽極）：≤4.5KV
測(cè)量室電流：低電流集電極版本≤100μA
高電流集電極版本≤500μA
電氣連接：9針D型外螺紋
CE認(rèn)證：EMC(EN61000-6-2, EN61000-6-3
EN61010-1, EN61326-1)
環(huán)境認(rèn)證：RoHS認(rèn)證
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