美國Aalborg氣體質(zhì)量流量計

　　美國Aalborg Instruments Controls, Inc成立于1972年，是**上**的氣體質(zhì)量流量計/控制器的生產(chǎn)廠家，其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、材料科學(xué)、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。
　　產(chǎn)品特點：性價比高、響應(yīng)速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護、備總量計數(shù)器
　　典型應(yīng)用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
　　設(shè)計特點：
　?。瓌傂越饘俳Y(jié)構(gòu)
　　－流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
　?。?大壓力500psig（34.5Bar）
　?。孤┞?＊10-7氦氣
　?。璑IST系統(tǒng)標定可追蹤的證明
　?。蓛A斜的LCD讀表
　?。?-5Vdc或4-20mA信號輸出
　　－電路保護
　?。捎米鞅銛y式的設(shè)備
　?。?到**比例顯示
　?。膳鋫淞髁坑嬎銠C