詳細介紹
| |||||||||
功能說明: | |||||||||
● 配氣精度高(可達±0.5%),并且線性誤差??; ● 配氣操作簡便,配氣效率高; ● 配氣重復性好,不受人為因素干擾; ● 所配氣體均勻性好,可立即使用; ● 因使用質(zhì)量流量控制器控制流量,在氣體壓力、溫度變化的情況下,流量依然穩(wěn)定,確保了所配標準混合氣體的精度; ● 所有配氣方案可修改、刪除、保存,大大方便了重復性配氣工作; ● 本系統(tǒng)軟件采用中文WINDOWS做為工作平臺,操作界面友好,并具備針對配氣方案的定制、執(zhí)行工作中的實時監(jiān)控功能,使配氣操作更規(guī)范、更準確; ● 高壓氣體管路安裝有高壓安全閥,如壓力過大(一般設定為16Mpa),可自動卸壓; ● 所有殘氣均通過專門氣體管路向室外排空,避免配氣工作間的空氣受到污染。 | |||||||||
技術參數(shù): | |||||||||
● 還原氣體成分(V/V):30%CO+70%N2; ● 還原氣體流量(L/min):12; ● 配氣精度:±0.2%; ● 預熱時間:<15min; ● 氣體流量重復精度:±0.2%F.S ; ● 氣體流量響應時間:1~4sec; ● 氣瓶: 40L鋼瓶的N2、CO; N2純度%(V/V:≥99.99; CO純度%(V/V:≥99.50 ● 使用環(huán)境溫度:5~45℃; ● 電源:220VAC 50/60Hz,10KW。 |