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河南順博熱處理設備有限公司>>CVD設備>>S-1200HZ-CVD滑式真空爐CVD系統(tǒng)

滑式真空爐CVD系統(tǒng)

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  • 滑式真空爐CVD系統(tǒng)

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  • 型號 S-1200HZ-CVD
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 鄭州市

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更新時間:2023-12-22 11:52:28瀏覽次數(shù):159

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產(chǎn)品簡介

滑式真空爐CVD系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達1200℃,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫

詳細介紹

功能特點:
本套系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達1200℃,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度;同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。
產(chǎn)品用途:
高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備
產(chǎn)品參數(shù)
  • 爐體結(jié)構(gòu):雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫;真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好
  • 電源電壓:AC220V 50/60Hz;
  • 功率:4KW
  • 爐管材質(zhì):高純石英管,高溫下化學穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小
  • 爐管尺寸:Φ40/60/80/100*1200mm
  • 加熱系統(tǒng):加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負荷高、經(jīng)久耐用
  • 加熱區(qū)長度:440mm(可定制)
  • 恒溫區(qū)長度:200mm(可定制)
  • 工作溫度:≤1150℃(可定制)
  • 溫度:1200℃(可定制)
  • 升溫速率:10℃/min
  • 溫控系統(tǒng):溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術,具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能30段升降溫程序
  • 測溫元件:N型熱電偶
  • 恒溫精度:±1℃
  • 混氣系統(tǒng):三路質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制
  • 內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥
  • 管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套
  • 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥
  • 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量
  • 流量規(guī)格:0~1SLM
  • 流量精度:±1.5%
  • 極限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 標準配件:數(shù)顯式真空壓力表;可選高真空系統(tǒng)及真空計,壓力控制系統(tǒng)等
  • 可選配件:混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。

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