等離子體材料表面改性試驗裝置

1.設備名稱：

    等離子體材料表面改性試驗裝置

2.設備功能：

    在真空條件下，注入不同的單一介質氣體或按比例混合的混合介質氣體，然后施加設定的高電壓，激發(fā)出低溫等離子體轟擊材料表面，實現(xiàn)金屬、陶瓷、塑料等材料基片的表面改性。同時設備具有進行氟氣的特殊氣體的表面滲透處理的功能。在氟化腔體和真空等離子腔體之間可通過真空直線運動機構以實現(xiàn)樣品基片在不同腔體之間的轉移。

3.設備特點：

   ①.設備具有兩個真空腔體，一個等離子放電腔體，一個氟化腔體。兩個腔體之間采用電動高真空閥門隔離，根據需要即可分開使用也可分別使用。通過排氣路的高真空蝶閥的切換可以實現(xiàn)真空氣路方向的改變。；

   ②.等離子放電腔體采用了下平底，上球罐封頭的圓筒型真空腔體結構，容積約30L。腔體采用優(yōu)質不銹鋼材質，表面拋光處理。腔體上端設置了特殊設計的真空高壓引入電極，可引入電壓50KV。腔體手孔門采用了三點鎖緊的快開型真空門，真空門上設置了石英玻璃視窗，腔體上另外具備了兩個呈90度分布的石英玻璃觀察窗，方便試驗過程便于觀察和攝像。在腔體上具有與腔體高度絕緣的專用地電極，有方便通信和進行內部元件控制的真空航插接頭和真空NBC接頭，接入了符合真空密封等級的光纖以滿足就近觀察試驗區(qū)域的要求。腔體安裝了電阻真空規(guī)和超高精度的數字真空壓力表，以滿足對不同真空壓力分段的測量。腔體預留了電離真空規(guī)接口和高真空分子泵接口，在任何需要的情況下加裝高真空裝置即可實現(xiàn)高真空的試驗需要。

    ③.氟化腔體采用上下平底的圓筒型真空結構，腔體容積約4L。在氟化腔體一端設置了運動機構安裝法蘭并安裝了真空直線運動機構。為了避免使用過程中對不銹鋼腔體腐蝕，氟化腔體內外表面采用了的高溫聚四氟乙烯噴涂工藝進行了防腐處理，涂層致密牢靠，可以耐受HF酸的腐蝕。

    ④.為了能夠控制試驗腔體內的氣體壓力和成分，等離子放電腔體設置了兩路充氣通路，氟化腔體采用了一路充氣通路。充氣通路均采用了精密高真空微調閥作為充氣控制閥。通過控制充氣閥開度，真空微調閥可以將充氣的壓力變化控制在2Pa以內。

    ⑤.設備所涉及的真空腔體及管路系統(tǒng)均按照高真空標準設計，以便滿足設備升級的需要。

4.設備主要性能：

    ①.真空性能

    低配（未加裝高真空系統(tǒng)）：真空0.3Pa

    高配（加裝高真空系統(tǒng)）：真空5×10^-4Pa

    設備總體漏率：2×10^-6Pa·m³/s

    ②.正壓試驗壓力

    0.2MPa

    ③.接入電壓

    標準：50KV

    非標：100KV

    ④.運動機構

    標準：行程：650mm，手搖旋轉推進，自動抓取。

    非標：行程定制，推進可電動，抓取方式可定制

    ⑤.系統(tǒng)控制

     低配：隔離閥門電動，氣路切換手動，泵手動

     高配：隔離閥門電動，氣路切換電動，泵系統(tǒng)PLC控制