低溫硅分析系統(tǒng)

Cryosas

低溫硅分析系統(tǒng)

布魯克光譜低溫硅分析系統(tǒng)(CryoSAS) 是一款專用于分析低溫(<15K)下硅中雜質(zhì)的一體化系統(tǒng)，專為工業(yè)環(huán)境設(shè)計。

CryoSAS 內(nèi)置了一個布魯克高性能的傅立葉紅外光譜儀，閉循環(huán)的低溫制冷技術(shù)，不需要液氦。所有CryoSAS部件都是的，其的技術(shù)滿足了多晶硅生產(chǎn)環(huán)境中的艱難分析工作。CryoSAS 能夠?qū)崿F(xiàn)高水平的全自動操作，包含準(zhǔn)確的報告及分析結(jié)果。

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產(chǎn)品特點包括：

高靈敏度：

CryoSAS  依據(jù)ASTM/SEMI MF1630標(biāo)準(zhǔn)分析淺層雜質(zhì)（例如硼、磷等等），濃度可低至ppta水平。此外，依據(jù)ASTM/SEMI MF1391標(biāo)準(zhǔn)，可以分析碳/氧含量，濃度可低至ppba水平。

在低溫條件下(~12 K)，CryoSAS 硅中碳測試結(jié)果（上圖），硅中硼、磷測試結(jié)果（下圖）

閉循環(huán)低溫制冷系統(tǒng)：不需要耗費昂貴的低溫制冷劑

高可靠性的閉循環(huán)低溫系統(tǒng)冷卻檢測器和樣品倉。與液氦制冷系統(tǒng)相比，閉循環(huán)系統(tǒng)每年可以節(jié)省制冷操作費用50,000歐元，甚至更多。

CryoSAS 低溫樣品倉及9個自動化樣品架。

CryoSAS操作軟件主屏顯示了當(dāng)前的樣品及選擇的分析方法

不銹鋼設(shè)計樣品倉：
方便樣品替換

樣品倉配有穩(wěn)定的光學(xué)系統(tǒng)及自動樣品頭。樣品倉內(nèi)部的大尺寸方便樣品架進入。

機械泵及渦輪泵的結(jié)合：
簡單清潔的真空系統(tǒng)

使用快速可靠的機械泵和渦輪泵抽真空。

堅固的9個樣品支架及精密的步進馬達：

穩(wěn)定的轉(zhuǎn)移平臺及支架支持多樣品分析，高性能馬達及固體機械系統(tǒng)確保精確的樣品測試。樣品及樣品架在樣品倉內(nèi)的安裝非常容易。特殊設(shè)計的鍍金OFHC 銅樣品架保證了溫度的均一性。

易用性：

CryoSAS 提供了適用于工業(yè)環(huán)境的簡易操作。所有的真空和制冷系統(tǒng)都由程序控制。冷卻和開始測量是簡單的按鈕操作。操作者無需是光譜儀專家或者真空系統(tǒng)專家。

專用的CryoSAS 軟件根據(jù)工業(yè)質(zhì)量控制設(shè)計。它可以通過觸摸屏操作。操作者只需選擇想要的分析方法、輸入樣品信息，然后按下開始按鈕即可啟動測量。CryoSAS 可以全自動的冷卻樣品并開始紅外測量、評價結(jié)果、生成分析報告。

技術(shù)參數(shù)

光譜范圍：1500-280 cm-1  檢測器的測試范圍

• 依據(jù)ASTM/SEMI MF1630標(biāo)準(zhǔn)測試單晶硅的III族 和 V族淺層雜對于3mm厚的楔形樣品，可達檢測限為：
  - 10 ppta 磷
  - 30 ppta 硼

• 依據(jù)ASTM/SEMI MF1391標(biāo)準(zhǔn)測試替代碳。此方法需要FZ法制備的無碳標(biāo)準(zhǔn)樣品以及厚度和表面都可比的待測樣品。對于厚度為3mm的楔形樣品，碳濃度檢測下限達20 ppba

CryoSAS 典型分析案例報告保函相關(guān)信息和結(jié)果