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產品詳細介紹
OTF-1200X-5S小型開啟式管式爐，其工作溫度可以達到1200℃。爐管Φ130mm(或100mm)的高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭，可在真空或氣氛保護環(huán)境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統(tǒng)，可設置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐最多可對4英寸的晶片進行退火。
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技術參數(shù)
名稱 | 1200℃小型單溫區(qū)大口徑開啟式管式爐--OTF-1200X-5S |
主要參數(shù) |
·工作溫度：1200℃（＜0.5小時）
·連續(xù)工作溫度：1150℃
·建議加熱速率：≦10℃/min
·功率：3KW
·電壓：AC 220V 50Hz
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爐體結構
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·雙層殼體結構 ·采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，保證溫度均勻性
·此款管式爐也可做為立式爐使用（點擊圖片查看詳細資料）
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加熱區(qū)
| ·加熱區(qū)長度：300mm 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考，不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系。 |
溫控系統(tǒng) |
·采用PID方式調節(jié)溫度，可設置30段升降溫程序
·帶有超溫和斷偶保護
·可選購MTS02-B控溫模塊，可用電腦設置和顯示溫度程序
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歐陸儀表（可選） |
·可選購歐陸型溫控儀表，控溫精確度可以提升到±0.1℃。
·具體詳情請致電公司銷售。
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加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金 |
爐管 |
·石英管口徑可選：130mm或100mm
·配有2個氧化鋁管堵，使用設備時應放在爐管兩端，保證恒溫區(qū)和法蘭密封性
·可選購石英管堵，提高爐管內的潔凈度和幫助獲得高真空
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真空密封法蘭
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·配有一對不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封
·右端法蘭為KF25接口，用于連接真空泵
·左端法蘭上安裝有機械壓力表，接口為1/4英寸卡套接頭，用于連接氣瓶
·真空度：10-2torr (采用機械泵)
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·可選：5英寸的水冷鉸鏈法蘭，并帶有支撐架
·水冷法蘭通入冷卻水后，設備溫度可以達到1100℃（＜1小時）
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真空泵連接 &可選 |
·您可能需要在真空端部安裝一個真空閥
·您可以訂購帶真空泵和溫度校準套件的爐子
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真空壓力表 |
·安裝有一機械壓力表，測量范圍為-0.1～0.15MPa
·可選購數(shù)顯防腐真空計當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而進行系數(shù)轉換，測量范圍為3.8x10-5 -1125 Torr
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鎧裝熱電偶（可選） |
·可選購鎧裝K型熱電偶，通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內部，測量樣品的實際溫度
·可選購一個法蘭支撐架，防止爐管轉動
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外形尺寸 |
·爐蓋關閉時:960mm(L)×500mm(W)×450mm(H)
·爐蓋打開時:960mm(L)×660mm(W)×710mm(H)
·控制盒尺寸:200mm(L)×300mm(W)×360mm(H)
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凈重 | 48 Kg |
質保期 |
一年保修，終身技術支持。
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
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應用注意事項 |
·爐管內氣壓不可高于0.02MPa
·由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
·當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)
·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊并同時保護爐內溫場。
·石英管的長時間使用溫度＜1100℃
·對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
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